فهرست
۱. د FOUP عمومي کتنه او اصلي دندې
۲. د FOUP جوړښت او ډیزاین ځانګړتیاوې
۳. د FOUP طبقه بندي او د کارونې لارښوونې
۴. د سیمیکمډکټر په تولید کې د FOUP عملیات او اهمیت
۵. تخنیکي ننګونې او د راتلونکي پرمختګ رجحانات
۶. د XKH دودیز حلونه او د خدماتو ملاتړ
د سیمیکمډکټر جوړولو په پروسه کې، د فرنټ اوپنینګ یونیفایډ پوډ (FOUP) یو مهم کانټینر دی چې د ویفرونو د ساتنې، لیږد او ذخیره کولو لپاره کارول کیږي. د هغې داخلي برخه د 300 ملي میتر ویفرونو 25 ټوټې ځای په ځای کولی شي، او د هغې اصلي برخې د مخکینۍ پرانیستې کانټینر او د پرانیستلو او تړلو لپاره وقف شوی دروازې چوکاټ شامل دي. FOUP د 12 انچه ویفر فابونو دننه د اتوماتیک ټرانسپورټ سیسټم کې یو اصلي کیریر دی. دا معمولا په تړل شوي حالت کې لیږدول کیږي او یوازې هغه وخت خلاصیږي کله چې د تجهیزاتو بار پورټ ته فشار ورکړل شي، ویفرونو ته اجازه ورکوي چې د تجهیزاتو بارولو / خلاصولو بندر ته لیږدول شي.
د FOUP ډیزاین د مایکرو چاپیریال اړتیاو سره سمون لري. دا د ویفر داخلولو لپاره په شا کې سلاټونه لري، او پوښ په ځانګړي ډول د خلاصونکي کلیمپ سره سمون لپاره ډیزاین شوی. د ویفر اداره کولو روبوټونه د لومړي ټولګي پاک هوا چاپیریال کې کار کوي، ډاډ ترلاسه کوي چې ویفرونه د لیږد پرمهال ککړ نه وي. سربیره پردې، FOUP د اتوماتیک موادو اداره کولو سیسټم (AMHS) له لارې د پروسس وسیلو ترمنځ لیږدول کیږي. عصري ویفر فابریکې ډیری وختونه د ترانسپورت لپاره د سر ریل سیسټمونه کاروي، پداسې حال کې چې یو څو زاړه فابریکې ممکن د ځمکې پر بنسټ اتومات لارښود شوي وسایط (AGVs) وکاروي.
FOUP نه یوازې د اتوماتیک ویفر لیږد فعالوي بلکه د ذخیره کولو دنده هم ترسره کوي. د ډیری تولیدي مرحلو له امله، ویفرونه ممکن د ټولې پروسې جریان بشپړولو لپاره میاشتې وخت ونیسي. د لوړ میاشتني تولید حجم سره یوځای، دا پدې مانا ده چې په یوه فابریکه کې لسګونه زره ویفرونه په دوامداره توګه په لیږد یا لنډمهاله ذخیره کې په هر وخت کې وي. د ذخیره کولو په جریان کې، FOUPs په دوره یي ډول د نایتروجن سره پاک کیږي ترڅو ککړونکي د ویفرونو سره د تماس څخه مخنیوی وکړي، د پاک او باوري تولید پروسه ډاډمنه کوي.
۱. د FOUP دندې او اهمیت
د FOUP اصلي دنده د ویفرونو ساتنه ده چې د بهرني شاک او ککړتیا څخه ويفرونه خوندي کړي، په ځانګړي توګه د لیږد پرمهال په حاصلاتو باندې د اغیزو څخه مخنیوی کوي. دا په مؤثره توګه د ګاز پاکولو او محلي اتموسفیر کنټرول (LAC) په څیر میتودونو له لارې د رطوبت مخه نیسي، ډاډ ترلاسه کوي چې ویفرونه د راتلونکي تولید مرحلې ته په تمه کې په خوندي حالت کې پاتې کیږي. د دې مهر شوی او کنټرول شوی سیسټم یوازې اړین مرکبات او عناصرو ته اجازه ورکوي چې ننوځي، د پام وړ د VOCs، اکسیجن او رطوبت منفي اغیزې په ویفرونو کموي.
څرنګه چې یو FOUP چې په بشپړه توګه د ۲۵ ویفرونو سره بار شوی وي تر ۹ کیلوګرامه پورې وزن کولی شي، نو د هغې لیږد باید د اتوماتیک موادو اداره کولو سیسټم (AMHS) باندې تکیه وکړي. د دې اسانتیا لپاره، FOUP د کوپلینګ پلیټونو، پنونو او سوریو مختلفو ترکیبونو سره ډیزاین شوی، او د اسانه پیژندنې او طبقه بندي لپاره د RFID بریښنایی ټګونو سره سمبال شوی. دا اتوماتیک اداره کول تقریبا هیڅ لاسي عملیاتو ته اړتیا نلري، چې د غلطۍ کچه خورا کموي او د تولید پروسې خوندیتوب او دقت لوړوي.
۲. د FOUP جوړښت او طبقه بندي
د FOUP عادي ابعاد شاوخوا 420 ملي متره پلنوالی، 335 ملي متره ژوروالی، او 335 ملي متره لوړوالی لري. د دې اصلي ساختماني اجزا عبارت دي له: د سر پورته پورته پورته کولو لیږد لپاره د OHT (د مرخیړیو سر)؛ د تجهیزاتو ویفر لاسرسي لپاره مخکینۍ دروازه؛ د اړخ لاستیونه، ډیری وختونه د مختلف ککړتیا کچو سره د پروسې ساحې توپیر کولو لپاره رنګ کوډ شوي؛ د پیغام کارتونو ځای پرځای کولو لپاره د کارت ساحه؛ او د RFID لاندې ټګ چې د FOUP لپاره د ځانګړي پیژندونکي په توګه کار کوي، وسایلو او د سر پورته پورته پورته کولو ته اجازه ورکوي چې دا وپیژني. اساس د وسیلو سره د سمون او د پروسې ساحې توپیر کولو لپاره د څلورو پیژندنې او موقعیت سوریو سره هم سمبال دی.
د کارونې پر بنسټ، FOUPs په دریو ډولونو ویشل شوي دي: PRD (د تولید لپاره)، ENG (د انجینرۍ ویفرونو لپاره)، او MON (د مانیټر ویفرونو لپاره). د PRD FOUPs د محصول تولید لپاره کارول کیدی شي، د ENG ډولونه د R&D یا تجربو لپاره مناسب دي، او د MON ډولونه د CMP او DIFF په څیر مرحلو لپاره د پروسې څارنې ته وقف شوي دي. دا مهمه ده چې په یاد ولرئ چې PRD FOUPs د ENG او MON دواړو موخو لپاره کارول کیدی شي، او د ENG ډولونه د MON لپاره کارول کیدی شي، مګر برعکس عملیات د کیفیت خطرونه رامینځته کوي.
د ککړتیا د کچې له مخې طبقه بندي شوي، FOUPs په FE FOUP (د مخکینۍ پای پروسه، فلزاتو څخه پاک)، BE FOUP (د شاته پای پروسه، فلزات لري)، او هغه چې د ځانګړو فلزي پروسو لکه NI FOUP، CU FOUP، او CO FOUP لپاره ځانګړي شوي ویشل کیدی شي. د مختلفو پروسو لپاره FOUPs معمولا د اړخ لاسونو یا د دروازې تختو رنګ لخوا توپیر کیږي. د مخکینۍ پای پروسو څخه FOUPs د شاته پای پروسو کې کارول کیدی شي، مګر د شاته پای FOUPs باید هیڅکله د مخکینۍ پای پروسو کې ونه کارول شي، ځکه چې دا به د ککړتیا خطرونه رامینځته کړي.
د سیمیکمډکټر تولید کې د کلیدي کیریر په توګه، FOUP، د لوړ اتومات کولو او سخت ککړتیا کنټرول له لارې، د تولید پروسې په جریان کې د ویفرونو خوندیتوب او پاکوالی تضمینوي، چې دا په عصري ویفر فابریکو کې یو لازمي زیربنا جوړوي.
پایله
XKH ژمن دی چې پیرودونکو ته د خورا دودیز شوي فرنټ-اوپنینګ یونیفایډ پوډ (FOUP) حلونو چمتو کولو لپاره ژمن دی، ستاسو د ځانګړي پروسې اړتیاو او د تجهیزاتو انٹرفیس مشخصاتو سره په کلکه عمل کوي. د پرمختللي موادو ټیکنالوژۍ او دقیق تولید پروسو څخه ګټه پورته کول، موږ ډاډ ترلاسه کوو چې هر FOUP محصول استثنایی هوا بندښت، پاکوالی، او میخانیکي ثبات وړاندې کوي. زموږ تخنیکي ټیم ژور صنعت تخصص لري، د ژوند دورې جامع ملاتړ وړاندې کوي - د انتخاب مشورې او ساختماني اصلاح څخه تر پاکولو او ساتنې پورې - د FOUP او ستاسو د اتوماتیک موادو اداره کولو سیسټم (AMHS) او همدارنګه د پروسس تجهیزاتو ترمنځ بې ساري ادغام او مؤثره همکاري ډاډمن کوي. موږ په دوامداره توګه د ویفرونو خوندیتوب او د تولید حاصلاتو لوړولو ته زموږ د اصلي اهدافو په توګه لومړیتوب ورکوو. د نوښتګرو محصولاتو او هر اړخیز تخنیکي خدماتو له لارې، موږ ستاسو د سیمیکمډکټر تولید پروسو لپاره قوي تضمین چمتو کوو، په نهایت کې د تولید موثریت او د محصول حاصل لوړوي.
د پوسټ وخت: سپتمبر-۰۸-۲۰۲۵