د ویفر تولید کې د SPC سیسټم ژوره پوهه

1. د SPC سیسټم عمومي کتنه

SPC یو میتود دی چې د تولید پروسې نظارت او کنټرول لپاره احصایوي تخنیکونه کاروي. د دې اصلي دنده د ریښتیني وخت ډیټا راټولولو او تحلیل کولو سره د تولید پروسې کې بې نظمۍ کشف کول دي ، د انجینرانو سره په وخت تنظیماتو او پریکړې کولو کې مرسته کوي. د SPC هدف دا دی چې د تولید پروسې کې توپیر کم کړي، ډاډ ترلاسه کړي چې د محصول کیفیت ثابت پاتې کیږي او مشخصات پوره کوي.

SPC د نقاشۍ په پروسه کې کارول کیږي:

د مهم تجهیزاتو پیرامیټرونه وڅارئ (د بیلګې په توګه د ایچ نرخ، د RF بریښنا، د چیمبر فشار، تودوخه، او نور)

د محصول د کیفیت کلیدي شاخصونه تحلیل کړئ (د بیلګې په توګه، د کرښې ویښت، د ایچ ژوروالی، د څنډې خړوالی، او نور)

د دې پیرامیټونو په نظارت کولو سره ، انجینران کولی شي رجحانات کشف کړي چې د تجهیزاتو فعالیت تخریب یا د تولید پروسې کې انحراف څرګندوي ، پدې توګه د سکریپ نرخونه کموي.

2. د SPC سیسټم اساسي برخې

د SPC سیسټم د څو کلیدي ماډلونو څخه جوړ شوی دی:

د معلوماتو راټولولو ماډل: د تجهیزاتو او پروسې جریان څخه د ریښتیني وخت ډاټا راټولوي (د مثال په توګه د FDC، EES سیسټمونو له لارې) او مهم پیرامیټونه او د تولید پایلې ثبتوي.

د کنټرول چارټ ماډل: د احصایوي کنټرول چارټ کاروي (د بیلګې په توګه، د X-بار چارټ، R چارټ، Cp/Cpk چارټ) د پروسې ثبات لیدلو لپاره او د دې معلومولو کې مرسته کوي چې آیا پروسه په کنټرول کې ده.

د الارم سیسټم: الارمونه رامینځته کوي کله چې مهم پیرامیټونه د کنټرول حد څخه تیریږي یا د رجحان بدلونونه ښیې ، انجینران هڅوي چې اقدام وکړي.

د تحلیل او راپور ورکولو ماډل: د SPC چارټونو پراساس د بې نظمۍ اصلي لامل تحلیل کوي او په منظم ډول د پروسې او تجهیزاتو لپاره د فعالیت راپورونه رامینځته کوي.

3. په SPC کې د کنټرول چارټونو تفصیلي توضیحات

د کنټرول چارتونه په SPC کې یو له خورا عام کارول شوي وسیلو څخه دی چې د "نورمال تغیر" (د طبیعي پروسې د تغیراتو له امله رامینځته شوی) او "غیر معمولي تغیر" (د تجهیزاتو ناکامیو یا پروسې انحرافاتو له امله رامینځته شوی) ترمینځ توپیر کولو کې مرسته کوي. عام کنټرول چارټونه پدې کې شامل دي:

د ایکس بار او آر چارټونه: د تولید بیچونو کې د معنی او حد نظارت لپاره کارول کیږي ترڅو مشاهده کړي چې ایا پروسه مستحکم ده.

د Cp او Cpk شاخصونه: د پروسې وړتیا اندازه کولو لپاره کارول کیږي، د بیلګې په توګه، ایا د پروسې محصول په دوامداره توګه د مشخصاتو اړتیاوې پوره کولی شي. Cp احتمالي وړتیا اندازه کوي، پداسې حال کې چې Cpk د مشخصاتو محدودیتونو څخه د پروسې مرکز انحراف په پام کې نیسي.

د مثال په توګه، د نقاشۍ په پروسه کې، تاسو ممکن پیرامیټونه وڅیړئ لکه د ایچ کچه ​​او د سطحې خرابوالی. که چیرې د تجهیزاتو د یوې ټاکلې برخې د ایچ نرخ د کنټرول حد څخه ډیر وي ، تاسو کولی شئ د کنټرول چارټ وکاروئ ترڅو معلومه کړئ چې ایا دا طبیعي تغیر دی یا د تجهیزاتو خرابوالي نښه.

4. د اینچنګ تجهیزاتو کې د SPC پلي کول

د اینچنګ په پروسه کې، د تجهیزاتو پیرامیټونو کنټرول مهم دی، او SPC په لاندې لارو کې د پروسې ثبات ښه کولو کې مرسته کوي:

د تجهیزاتو حالت څارنه: د FDC په څیر سیسټمونه د ایچنګ تجهیزاتو کلیدي پیرامیټرو (د بیلګې په توګه، د RF بریښنا، د ګاز جریان) په اړه ریښتیني وخت ډاټا راټولوي او دا ډاټا د SPC کنټرول چارټونو سره یوځای کوي ترڅو د تجهیزاتو احتمالي مسلو کشف کړي. د مثال په توګه، که تاسو وګورئ چې د کنټرول چارټ کې د RF ځواک په تدریجي ډول د ټاکل شوي ارزښت څخه انحراف کوي، تاسو کولی شئ د تعدیل یا ساتنې لپاره ابتدايي اقدام وکړئ ترڅو د محصول کیفیت اغیزه ونه کړي.

د محصول کیفیت څارنه: تاسو کولی شئ د محصول کیفیت کلیدي پیرامیټونه هم داخل کړئ (د بیلګې په توګه، د ایچ ژوروالی، لاین ویډت) د SPC سیسټم کې د دوی ثبات وڅیړئ. که چیرې د محصول ځینې مهم شاخصونه په تدریجي ډول د هدف ارزښتونو څخه انحراف وکړي، د SPC سیسټم به یو الارم خپور کړي، دا په ګوته کوي چې د پروسې سمون ته اړتیا ده.

مخنیوی ساتنه (PM): SPC کولی شي د تجهیزاتو لپاره د مخنیوي ساتنې دورې اصلاح کولو کې مرسته وکړي. د تجهیزاتو فعالیت او پروسې پایلو په اړه د اوږدې مودې ډیټا تحلیل کولو سره ، تاسو کولی شئ د تجهیزاتو ساتنې لپاره غوره وخت وټاکئ. د مثال په توګه، د RF بریښنا او د ESC د عمر څارنه کولو سره، تاسو کولی شئ معلومه کړئ کله چې پاکولو یا اجزاو بدلولو ته اړتیا وي، د تجهیزاتو د ناکامۍ کچه او د تولید وخت کمول.

5. د SPC سیسټم لپاره د ورځني کارونې لارښوونې

کله چې په ورځني عملیاتو کې د SPC سیسټم کاروئ، لاندې مرحلې تعقیب کیدی شي:

د کلیدي کنټرول پیرامیټونه تعریف کړئ (KPI): د تولید په پروسه کې خورا مهم پیرامیټونه وپیژنئ او د SPC نظارت کې یې شامل کړئ. دا پیرامیټونه باید د محصول کیفیت او تجهیزاتو فعالیت سره نږدې تړاو ولري.

د کنټرول محدودیتونه او د الارم محدودیتونه تنظیم کړئ: د تاریخي معلوماتو او پروسې اړتیاو پراساس ، د هر پیرامیټر لپاره مناسب کنټرول محدودیتونه او د الارم محدودیتونه وټاکئ. د کنټرول حدود معمولا په ±3σ (معیاري انحرافاتو) کې ټاکل کیږي، پداسې حال کې چې د الارم حدود د پروسې او تجهیزاتو ځانګړو شرایطو پراساس دي.

دوامداره څارنه او تحلیل: په منظمه توګه د SPC کنټرول چارټونو بیاکتنه ترڅو د معلوماتو رجحانات او تغیرات تحلیل کړي. که چیرې ځینې پیرامیټرې د کنټرول حد څخه تیریږي ، سمدستي عمل ته اړتیا ده ، لکه د تجهیزاتو پیرامیټرو تنظیم کول یا د تجهیزاتو ساتنه.

د غیرعادلیت اداره کول او د ریښې لامل تحلیل: کله چې غیر معمولي پیښې رامینځته کیږي ، د SPC سیسټم د پیښې په اړه مفصل معلومات ثبتوي. تاسو اړتیا لرئ د دې معلوماتو پراساس د غیر معمولي کیدو اصلي لامل ستونزه حل او تحلیل کړئ. دا اکثرا ممکنه ده چې د FDC سیسټمونو، EES سیسټمونو، او داسې نورو څخه ډاټا سره یوځای کړئ، ترڅو دا تحلیل کړي چې ایا مسله د تجهیزاتو ناکامۍ، د پروسې انحراف، یا د بهرني چاپیریال فکتورونو له امله ده.

دوامداره ښه والی: د SPC سیسټم لخوا ثبت شوي تاریخي معلوماتو په کارولو سره په پروسه کې ضعیف ټکي په ګوته کړئ او د پرمختګ پلانونه وړاندیز کړئ. د مثال په توګه، د ایچ کولو په پروسه کې، د ESC د عمر او پاکولو میتودونو اغیزې د تجهیزاتو ساتنې دورې باندې تحلیل کړئ او په دوامداره توګه د تجهیزاتو عملیاتي پیرامیټونه اصلاح کړئ.

6. د عملي غوښتنلیک قضیه

د عملي مثال په توګه، فرض کړئ چې تاسو د E-MAX د اینچنګ تجهیزاتو لپاره مسؤل یاست، او د چیمبر کیتوډ د وخت څخه مخکې لباس تجربه کوي، چې د D0 (BARC عیب) ارزښتونو د زیاتوالي لامل کیږي. د SPC سیسټم له لارې د RF بریښنا او ایچ نرخ نظارت کولو سره ، تاسو یو رجحان ګورئ چیرې چې دا پیرامیټرې ورو ورو د دوی ټاکل شوي ارزښتونو څخه انحراف کوي. وروسته له دې چې د SPC الارم پیل شو، تاسو د FDC سیسټم څخه ډاټا سره یوځای کړئ او معلومه کړئ چې مسله د خونې دننه د بې ثباته تودوخې کنټرول له امله رامینځته شوې. تاسو بیا د پاکولو نوي میتودونه او د ساتنې ستراتیژۍ پلي کوئ، په پای کې د D0 ارزښت له 4.3 څخه 2.4 ته راټیټ کړئ، په دې توګه د محصول کیفیت ښه کوي.

7. په XINKEHUI کې تاسو ترلاسه کولی شئ.

په XINKEHUI کې، تاسو کولی شئ کامل ویفر ترلاسه کړئ، که دا سیلیکون ویفر وي یا SiC ویفر. موږ د مختلف صنعتونو لپاره د لوړ کیفیت ویفرونو وړاندې کولو کې تخصص لرو ، په دقیقیت او فعالیت تمرکز کوو.