د ویفر په تولید کې د SPC سیسټم ژوره پوهه

۱. د SPC سیسټم عمومي کتنه

SPC یوه طریقه ده چې د تولیدي پروسو د څارنې او کنټرول لپاره احصایوي تخنیکونه کاروي. د دې اصلي دنده د ریښتیني وخت معلوماتو راټولولو او تحلیل کولو له لارې د تولید پروسې کې بې نظمۍ کشف کول دي، انجینرانو سره د وخت سره سمون او پریکړې کولو کې مرسته کول. د SPC هدف د تولید پروسې کې د توپیر کمول دي، ډاډ ترلاسه کول چې د محصول کیفیت باثباته پاتې کیږي او مشخصات پوره کوي.

SPC د ایچنګ په پروسه کې د دې لپاره کارول کیږي:

د تجهیزاتو مهم پیرامیټرونه وڅارئ (د بیلګې په توګه، د ایچ کچه، د RF ځواک، د چیمبر فشار، تودوخه، او نور)

د محصول د کیفیت مهم شاخصونه تحلیل کړئ (د بیلګې په توګه، د کرښې عرض، د نقاشۍ ژوروالی، د څنډې ناهمواروالی، او نور)

د دې پیرامیټرو په څارنې سره، انجنیران کولی شي هغه رجحانات کشف کړي چې د تجهیزاتو د فعالیت کمښت یا د تولید په پروسه کې انحراف په ګوته کوي، په دې توګه د سکریپ نرخونه کموي.

۲. د SPC سیسټم اساسي برخې

د SPC سیسټم د څو مهمو ماډلونو څخه جوړ شوی دی:

د معلوماتو راټولولو ماډل: د تجهیزاتو او پروسې جریانونو څخه په ریښتیني وخت کې معلومات راټولوي (د بیلګې په توګه، د FDC، EES سیسټمونو له لارې) او مهم پیرامیټرې او د تولید پایلې ثبتوي.

د کنټرول چارټ ماډل: د احصایوي کنټرول چارټونو (د مثال په توګه، د ایکس بار چارټ، R چارټ، Cp/Cpk چارټ) څخه کار اخلي ترڅو د پروسې ثبات وښيي او دا معلومه کړي چې ایا پروسه په کنټرول کې ده.

د الارم سیسټم: کله چې مهم پیرامیټرونه د کنټرول له حد څخه تیریږي یا د رجحان بدلونونه ښیې، الارمونه رامینځته کوي، انجینران هڅوي چې اقدام وکړي.

د تحلیل او راپور ورکولو ماډل: د SPC چارټونو پراساس د بې نظمیو اصلي لامل تحلیل کوي او په منظم ډول د پروسې او تجهیزاتو لپاره د فعالیت راپورونه چمتو کوي.

۳. په SPC کې د کنټرول چارټونو تفصيلي وضاحت

د کنټرول چارټونه په SPC کې یو له خورا عامو کارول شویو وسیلو څخه دی، چې د "عادي بدلون" (د طبیعي پروسې د توپیرونو له امله رامینځته شوی) او "غیر معمولي بدلون" (د تجهیزاتو د ناکامۍ یا د پروسې د انحرافاتو له امله رامینځته شوی) ترمنځ توپیر کولو کې مرسته کوي. عام کنټرول چارټونه پدې کې شامل دي:

د ایکس بار او آر چارټونه: د تولید بیچونو کې د اوسط او حد څارلو لپاره کارول کیږي ترڅو وګوري چې ایا پروسه مستحکم ده.

د Cp او Cpk شاخصونه: د پروسې وړتیا اندازه کولو لپاره کارول کیږي، د بیلګې په توګه، ایا د پروسې محصول په دوامداره توګه د مشخصاتو اړتیاوې پوره کولی شي. Cp احتمالي وړتیا اندازه کوي، پداسې حال کې چې Cpk د پروسې مرکز د مشخصاتو محدودیتونو څخه انحراف په پام کې نیسي.

د مثال په توګه، د ایچنګ په پروسه کې، تاسو ممکن د ایچنګ کچه او د سطحې ناهموارۍ په څیر پیرامیټرونه وڅارئ. که چیرې د تجهیزاتو د یوې ځانګړې برخې د ایچنګ کچه د کنټرول حد څخه زیاته وي، تاسو کولی شئ د کنټرول چارټونو څخه کار واخلئ ترڅو معلومه کړئ چې دا طبیعي بدلون دی یا د تجهیزاتو د خرابوالي نښه ده.

۴. د ایچنګ تجهیزاتو کې د SPC کارول

د ایچنګ په پروسه کې، د تجهیزاتو پیرامیټرو کنټرول خورا مهم دی، او SPC په لاندې لارو کې د پروسې ثبات ښه کولو کې مرسته کوي:

د تجهیزاتو د حالت څارنه: د FDC په څیر سیسټمونه د ایچنګ تجهیزاتو د کلیدي پیرامیټرو په اړه ریښتیني وخت معلومات راټولوي (د بیلګې په توګه، د RF بریښنا، د ګاز جریان) او دا معلومات د SPC کنټرول چارټونو سره یوځای کوي ترڅو د تجهیزاتو احتمالي ستونزې کشف کړي. د مثال په توګه، که تاسو وګورئ چې د کنټرول چارټ کې د RF بریښنا په تدریجي ډول د ټاکل شوي ارزښت څخه انحراف کوي، تاسو کولی شئ د تعدیل یا ساتنې لپاره لومړني اقدام وکړئ ترڅو د محصول کیفیت اغیزه ونلري.

د محصول د کیفیت څارنه: تاسو کولی شئ د محصول د کیفیت مهم پیرامیټرې (د مثال په توګه، د ایچ ژوروالی، د کرښې عرض) د SPC سیسټم کې داخل کړئ ترڅو د دوی ثبات وڅارئ. که چیرې د محصول ځینې مهم شاخصونه په تدریجي ډول د هدف ارزښتونو څخه انحراف وکړي، د SPC سیسټم به یو الارم خپور کړي، چې دا په ګوته کوي چې د پروسې سمون ته اړتیا ده.

د مخنیوي ساتنه (PM): SPC کولی شي د تجهیزاتو لپاره د مخنیوي ساتنې دورې غوره کولو کې مرسته وکړي. د تجهیزاتو فعالیت او پروسې پایلو په اړه د اوږدمهاله معلوماتو تحلیل کولو سره، تاسو کولی شئ د تجهیزاتو ساتنې لپاره غوره وخت وټاکئ. د مثال په توګه، د RF بریښنا او ESC عمر څارنه کولو سره، تاسو کولی شئ معلومه کړئ چې کله پاکول یا د اجزاو بدلولو ته اړتیا ده، د تجهیزاتو د ناکامۍ کچه او د تولید وخت کموي.

۵. د SPC سیسټم لپاره د ورځني کارونې لارښوونې

کله چې د SPC سیسټم په ورځنيو عملیاتو کې کارول کیږي، لاندې ګامونه تعقیب کیدی شي:

د کنټرول کلیدي پیرامیټرې (KPI) تعریف کړئ: د تولید په پروسه کې خورا مهم پیرامیټرې وپیژنئ او په SPC څارنه کې یې شامل کړئ. دا پیرامیټرې باید د محصول کیفیت او تجهیزاتو فعالیت سره نږدې تړاو ولري.

د کنټرول محدودیتونه او د الارم محدودیتونه تنظیم کړئ: د تاریخي معلوماتو او پروسې اړتیاو پراساس، د هر پیرامیټر لپاره مناسب کنټرول محدودیتونه او د الارم محدودیتونه تنظیم کړئ. د کنټرول محدودیتونه معمولا په ±3σ (معیاري انحراف) کې ټاکل کیږي، پداسې حال کې چې د الارم محدودیتونه د پروسې او تجهیزاتو ځانګړو شرایطو پراساس دي.

دوامداره څارنه او تحلیل: د معلوماتو رجحاناتو او تغیراتو تحلیل لپاره په منظم ډول د SPC کنټرول چارټونو بیاکتنه وکړئ. که چیرې ځینې پیرامیټرې د کنټرول حد څخه تیریږي، نو سمدستي اقدام ته اړتیا ده، لکه د تجهیزاتو پیرامیټرې تنظیم کول یا د تجهیزاتو ساتنه ترسره کول.

د غیر معمولي حالت اداره کول او د اصلي لامل تحلیل: کله چې یو غیر معمولي حالت رامنځته شي، د SPC سیسټم د پیښې په اړه مفصل معلومات ثبتوي. تاسو اړتیا لرئ چې د دې معلوماتو پراساس د غیر معمولي حالت اصلي لامل حل او تحلیل کړئ. ډیری وختونه دا ممکنه ده چې د FDC سیسټمونو، EES سیسټمونو، او نورو څخه معلومات یوځای کړئ، ترڅو تحلیل شي چې ایا ستونزه د تجهیزاتو ناکامۍ، د پروسې انحراف، یا بهرني چاپیریالي عواملو له امله ده.

دوامداره پرمختګ: د SPC سیسټم لخوا ثبت شوي تاریخي معلوماتو په کارولو سره، په پروسه کې کمزوري ټکي وپیژنئ او د ښه والي پلانونه وړاندیز کړئ. د مثال په توګه، د ایچنګ په پروسه کې، د تجهیزاتو د ساتنې دورې باندې د ESC عمر او پاکولو میتودونو اغیز تحلیل کړئ او په دوامداره توګه د تجهیزاتو عملیاتي پیرامیټرې غوره کړئ.

۶. د عملي کارونې قضیه

د عملي مثال په توګه، فرض کړئ چې تاسو د ایچنګ تجهیزاتو E-MAX مسؤلیت لرئ، او د چیمبر کیتوډ د وخت څخه مخکې اغوستلو تجربه کوي، چې د D0 (BARC نیمګړتیا) ارزښتونو کې زیاتوالي لامل کیږي. د SPC سیسټم له لارې د RF بریښنا او ایچ نرخ نظارت کولو سره، تاسو یو رجحان ګورئ چیرې چې دا پیرامیټرونه په تدریجي ډول د دوی ټاکل شوي ارزښتونو څخه انحراف کوي. وروسته له دې چې د SPC الارم پیل شي، تاسو د FDC سیسټم څخه معلومات یوځای کوئ او معلومه کوئ چې ستونزه د چیمبر دننه د بې ثباته تودوخې کنټرول له امله رامینځته شوې ده. تاسو بیا د پاکولو نوي میتودونه او د ساتنې ستراتیژۍ پلي کوئ، په پای کې د D0 ارزښت له 4.3 څخه 2.4 ته راټیټوي، په دې توګه د محصول کیفیت ښه کوي.

۷. په XINKEHUI کې تاسو ترلاسه کولی شئ.

په XINKEHUI کې، تاسو کولی شئ بشپړ ویفر ترلاسه کړئ، که هغه سیلیکون ویفر وي یا SiC ویفر. موږ د مختلفو صنعتونو لپاره د لوړ کیفیت ویفرونو په وړاندې کولو کې تخصص لرو، په دقت او فعالیت تمرکز کوو.