د سیمیکمډکټر ټیکنالوژۍ دوامداره پرمختګ سره ، د سیمی کنډکټر صنعت او حتی د فوتوولټیک صنعت کې ، د ویفر سبسټریټ یا ایپیټیکسیل شیټ سطح کیفیت لپاره اړتیاوې هم خورا سخت دي. نو، د ویفرونو لپاره د کیفیت اړتیاوې څه دي؟ اخیستلد نیلم ویفرد مثال په توګه، د ویفرونو د سطحې کیفیت ارزولو لپاره کوم شاخصونه کارول کیدی شي؟
د ویفر ارزونې شاخصونه څه دي؟
درې شاخصونه
د نیلم ویفرونو لپاره، د دې ارزونې شاخصونه د ټول ضخامت انحراف (TTV)، کندې (بو) او وارپ (وارپ) دي. دا درې پارامترونه په ګډه د سیلیکون ویفر فلیټ او ضخامت یونیفورم منعکس کوي ، او کولی شي د ویفر د څپې درجې اندازه کړي. corrugation د ویفر سطح کیفیت ارزولو لپاره د فلیټ سره یوځای کیدی شي.
TTV، BOW، Warp څه شی دی؟
TTV (د ټول ضخامت تغیر)
TTV د ویفر د اعظمي او لږترلږه ضخامت تر مینځ توپیر دی. دا پیرامیټر یو مهم شاخص دی چې د ویفر ضخامت یونیفارم اندازه کولو لپاره کارول کیږي. د سیمی کنډکټر پروسې کې، د ویفر ضخامت باید په ټوله سطحه خورا یوشان وي. اندازه کول معمولا په ویفر کې په پنځو ځایونو کې ترسره کیږي او توپیر محاسبه کیږي. په نهایت کې ، دا ارزښت د ویفر کیفیت قضاوت لپاره یو مهم اساس دی.
رکوع
د سیمی کنډکټر په تولید کې بو د ویفر کنډک ته اشاره کوي، د غیر تړل شوي ویفر د منځني نقطې او د حوالې الوتکې ترمنځ فاصله آزادوي. دا کلمه شاید د یو څیز د شکل له توضیحاتو څخه راځي کله چې دا د کمان په څیر منحل شوي شکل ته ځي. د رکوع ارزښت د سیلیکون ویفر د مرکز او څنډې تر مینځ د انحراف اندازه کولو سره تعریف شوی. دا ارزښت معمولا په مایکرومیټرونو (µm) کې څرګندیږي.
وارپ
وارپ د ویفرونو نړیوال ملکیت دی چې په آزاده توګه د غیر تړل شوي ویفر او حوالې الوتکې ترمینځ د اعظمي او لږترلږه فاصلې ترمینځ توپیر اندازه کوي. د سیلیکون ویفر له سطحې څخه الوتکې ته فاصله څرګندوي.
د TTV، Bow، Warp ترمنځ څه توپیر دی؟
TTV په ضخامت کې بدلونونو باندې تمرکز کوي او د ویفر د ځړولو یا تحریف سره تړاو نلري.
رکوع په ټولیز ډول تمرکز کوي، په عمده توګه د مرکز نقطه او څنډې ته په پام کې نیولو سره.
وارپ ډیر هراړخیز دی، پشمول د ټول ویفر سطحه موړ کول او مروړل.
که څه هم دا درې پارامترونه د سیلیکون ویفر شکل او جیومیټریک ملکیتونو پورې اړه لري، دوی په مختلف ډول اندازه شوي او تشریح شوي، او د سیمیکمډکټر پروسې او ویفر پروسس باندې د دوی اغیز هم توپیر لري.
هرڅومره چې درې پارامترونه کوچني وي ، ښه او لوی پیرامیټرونه ، د سیمی کنډکټر پروسې باندې منفي اغیزه خورا زیاته وي. له همدې امله، د سیمیک کنډکټر متخصص په توګه، موږ باید د ټولې پروسې پروسې لپاره د ویفر پروفایل پیرامیټرو اهمیت درک کړو، د سیمی کنډکټر پروسه ترسره کړو، باید توضیحاتو ته پاملرنه وکړو.
( سانسور کول )
د پوسټ وخت: جون-24-2024