د سیمیکمډکټر ټیکنالوژۍ د دوامداره پرمختګ سره، د سیمیکمډکټر صنعت او حتی د فوتوولټیک صنعت کې، د ویفر سبسټریټ یا ایپیټیکسیل شیټ د سطحې کیفیت لپاره اړتیاوې هم خورا سختې دي. نو، د ویفرونو لپاره د کیفیت اړتیاوې څه دي؟ اخیستلنیلم ویفرد مثال په توګه، د ویفرونو د سطحې کیفیت ارزولو لپاره کوم شاخصونه کارول کیدی شي؟
د ویفرونو د ارزونې شاخصونه کوم دي؟
درې شاخصونه
د نیلم ویفرونو لپاره، د هغې د ارزونې شاخصونه د ټول ضخامت انحراف (TTV)، خم (کمان) او وارپ (وارپ) دي. دا درې پیرامیټرونه یوځای د سیلیکون ویفر د فلیټنس او ضخامت یووالي منعکس کوي، او کولی شي د ویفر د څپې درجې اندازه کړي. د ویفر سطحې کیفیت ارزولو لپاره کوریګیشن د فلیټنس سره یوځای کیدی شي.
ټي ټي وي، کمان، وارپ څه شی دی؟
TTV (د ټول ضخامت توپیر)
TTV د ویفر د اعظمي او لږترلږه ضخامت ترمنځ توپیر دی. دا پیرامیټر یو مهم شاخص دی چې د ویفر ضخامت یووالي اندازه کولو لپاره کارول کیږي. په نیمه سیمیکمډکټر پروسه کې، د ویفر ضخامت باید په ټوله سطحه خورا یوشان وي. اندازه کول معمولا د ویفر په پنځو ځایونو کې ترسره کیږي او توپیر محاسبه کیږي. په نهایت کې، دا ارزښت د ویفر کیفیت قضاوت کولو لپاره یو مهم اساس دی.
رکوع
په نیمه نیمه تولیدي برخه کې کمان د ویفر کږوالي ته اشاره کوي، چې د غیر کلیمپ شوي ویفر د منځنۍ نقطې او د حوالې الوتکې ترمنځ واټن ازادوي. دا کلمه شاید د یو شی د شکل له توضیح څخه راځي کله چې دا کږیږي، لکه د کمان منحنی شکل. د کمان ارزښت د سیلیکون ویفر د مرکز او څنډې ترمنځ د انحراف اندازه کولو سره تعریف شوی. دا ارزښت معمولا په مایکرومیټرونو (µm) کې څرګندیږي.
وارپ
وارپ د ویفرونو یو نړیوال ملکیت دی چې د آزاده توګه نه تړل شوي ویفر او د حوالې الوتکې ترمنځ د اعظمي او لږترلږه واټن ترمنځ توپیر اندازه کوي. د سیلیکون ویفر له سطحې څخه تر الوتکې پورې واټن څرګندوي.
د ټي ټي وي، بو، وارپ ترمنځ څه توپیر دی؟
TTV د ضخامت په بدلونونو تمرکز کوي او د ویفر د کږیدو یا تحریف سره تړاو نلري.
کمان په ټولیز کږوالي تمرکز کوي، په عمده توګه د مرکز نقطې او څنډې کږوالي ته پام کوي.
وارپ ډیر جامع دی، په شمول د ټولې ویفر سطحې کږیدل او تاوول.
که څه هم دا درې پیرامیټرونه د سیلیکون ویفر شکل او جیومیټریک ملکیتونو پورې اړه لري، دوی په مختلف ډول اندازه کیږي او تشریح کیږي، او د سیمیکمډکټر پروسې او ویفر پروسس کولو باندې د دوی اغیز هم توپیر لري.
هر څومره چې درې پیرامیټرونه کوچني وي، هومره ښه وي، او پیرامیټر څومره لوی وي، هومره یې د سیمیکمډکټر پروسې باندې منفي اغیزه ډیره وي. له همدې امله، د سیمیکمډکټر متخصص په توګه، موږ باید د ټولې پروسې پروسې لپاره د ویفر پروفایل پیرامیټرو اهمیت درک کړو، د سیمیکمډکټر پروسه ترسره کړو، او باید توضیحاتو ته پاملرنه وکړو.
(سانسور کول)
د پوسټ وخت: جون-۲۴-۲۰۲۴