4inch 6inch لیتیم niobate واحد کرسټال فلم LNOI ویفر
د LNOI موادو چمتو کولو پروسه په عمده ډول په لاندې څلورو مرحلو ویشل شوې ده
(1) هغه آیونونه په یو ټاکلي انرژي کې د ایکس کټ لیتیم نایوبیټ موادو ته داخل شوي ، او د لیتیم نایوبیټ سطحې لاندې په یو مشخص ژور کې د عیب پرت ته معرفي شوي؛
(2) د ion implanted لیتیم niobate مواد د سیلیکون سبسټریټ سره د اکسایډ پرت سره تړل کیږي ترڅو د تړلو جوړښت رامینځته کړي.
(3) د تړلو جوړښت د دې لپاره تړل شوی و چې د He ion implantation لخوا معرفي شوي نیمګړتیاوې رامینځته کړي او د درزونو رامینځته کولو لپاره راټول شي. په نهایت کې ، لیتیم نایوبیټ د عیب پرت سره جلا شوی ترڅو پاتې لیتیم نایوبیټ سلائسونه او LNOI ویفرونه رامینځته کړي.
د LNOI ویفر غوښتنلیکونه او ګټې
1--لیتیم نایوبیټ پیزو الیکټریک فلمونه (LNOI) لوړ پیزو الیکټریک کفایت او ډایالیکټریک ثابت لري چې کولی شي میخانیکي انرژي په بریښنایی انرژي یا بریښنا انرژي په میخانیکي انرژي بدله کړي. له همدې امله ، دا په پراخه کچه د سینسرونو په برخه کې کارول کیږي ، لکه د فشار سینسرونه ، د سرعت سینسرونه ، د تودوخې سینسرونه او داسې نور. سربیره پردې ، د لیتیم نوبیټ پیزو الیکټریک فلم هم په اکوسټیک وسیلو او وایبریشن وسیلو کې کارول کیدی شي ، لکه د پیزو الیکټریک سیرامیک ټرانسډوسر پیچلي پیزو الیکټریک سیرامیک فلټر.
2- د لیتیم نوبیټ پیزو الیکټریک فلم ثبات هم د هغې یو له ګټو څخه دی. د دې د کرسټال جوړښت ثبات او کیمیاوي بې ثباتۍ له امله، د لیتیم نیوبیټ پیزو الیکټریک فلم کولی شي په لوړه تودوخه، لوړ رطوبت، قوي اسید، قوي الکلي او نور سخت چاپیریال کې کار وکړي، د ښه سنکنرن مقاومت او دوام سره.
3-لیتیم نیوبیټ پیزو الیکټریک فلم یو نوی پیزو الیکټریک مواد دی چې د عالي فعالیت او ثبات سره ، او د غوښتنلیک پراخه امکان لري. د ساینس او ټیکنالوژۍ په دوامداره پرمختګ سره ، د لیتیم نوبیټ پیزو الیکټریک فلم به په ډیرو ښارونو کې پلي شي ، د خلکو ژوند ته به ډیر اسانتیاوې او نوښت راوړي.
تفصيلي ډياګرام
