د 8 انچ SiC تولید درجې ویفر 4H-N SiC سبسټریټ
لاندې جدول زموږ د 8 انچ سی سی ویفرونو ځانګړتیاوې ښیې:
| د 8 انچ N-ډول SiC DSP مشخصات | |||||
| شمیره | توکي | واحد | تولید | څیړنه | ډمی |
| 1: پارامترونه | |||||
| ۱.۱ | پولی ډول | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | د سطحې لورى | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: برقی پیرامیټر | |||||
| 2.1 | ډوپانت | -- | د نايتروجن ډول | د نايتروجن ډول | د نايتروجن ډول |
| 2.2 | مقاومت | ohm ·cm | 0.015~ 0.025 | 0.01~ 0.03 | NA |
| 3: میخانیکي پیرامیټر | |||||
| 3.1 | قطر | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | ضخامت | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | د نخښې لوري | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | ژوروالی | mm | ۱~۱.۵ | ۱~۱.۵ | ۱~۱.۵ |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | رکوع | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | وارپ | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| ۴: جوړښت | |||||
| 4.1 | د مایکرو پایپ کثافت | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | فلزي مواد | اټوم/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. فرنټ کیفیت | |||||
| 5.1 | مخ | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | سطحي پای | -- | سی-مخ CMP | سی-مخ CMP | سی-مخ CMP |
| 5.3 | ذره | ea/wafer | ≤100(سایز≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | سکریچ | ea/wafer | ≤5، ټول اوږدوالی≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | څنډه چپس/انډینټ/کریکونه/داغونه/ککړتیا | -- | هیڅ نه | هیڅ نه | NA |
| 5.6 | پولی ډوله سیمې | -- | هیڅ نه | مساحت ≤10% | مساحت ≤30% |
| ۵.۷ | مخکی نښه کول | -- | هیڅ نه | هیڅ نه | هیڅ نه |
| ۶: شاته کیفیت | |||||
| 6.1 | بېرته پای | -- | د سی-مخ ایم پی | د سی-مخ ایم پی | د سی-مخ ایم پی |
| 6.2 | سکریچ | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | د شا د نیمګړتیاوو څنډه چپس/انډینټ | -- | هیڅ نه | هیڅ نه | NA |
| 6.4 | شاته خړپړتیا | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | شاته نښه کول | -- | نوچ | نوچ | نوچ |
| ۷: څنډه | |||||
| 7.1 | څنډه | -- | چمفر | چمفر | چمفر |
| ۸: بسته | |||||
| ۸.۱ | بسته بندي | -- | Epi - د خلا سره چمتو بسته بندي | Epi - د خلا سره چمتو بسته بندي | Epi - د خلا سره چمتو بسته بندي |
| 8.2 | بسته بندي | -- | ملټي ویفر کیسیټ بسته بندي | ملټي ویفر کیسیټ بسته بندي | ملټي ویفر کیسیټ بسته بندي |
تفصيلي ډياګرام
خپل پیغام دلته ولیکئ او موږ ته یې واستوئ
