د 8 انچه SiC تولید درجې ویفر 4H-N SiC سبسټریټ
لاندې جدول زموږ د 8 انچه SiC ویفرونو ځانګړتیاوې ښیې:
| د 8 انچه N-ډول SiC DSP مشخصات | |||||
| شمېره | توکي | واحد | تولید | څېړنه | ډمي |
| ۱: پیرامیټرې | |||||
| ۱.۱ | پولی ټایپ | -- | 4H | 4H | 4H |
| ۱.۲ | د سطحې موقعیت | ° | <11-20> ۴±۰.۵ | <11-20> ۴±۰.۵ | <11-20> ۴±۰.۵ |
| ۲: بریښنایی پیرامیټر | |||||
| ۲.۱ | ډوپانټ | -- | د n ډوله نایتروجن | د n ډوله نایتروجن | د n ډوله نایتروجن |
| ۲.۲ | مقاومت | اوم · سانتي متره | ۰.۰۱۵~۰.۰۲۵ | ۰.۰۱~۰.۰۳ | NA |
| ۳: میخانیکي پیرامیټر | |||||
| ۳.۱ | قطر | mm | ۲۰۰±۰.۲ | ۲۰۰±۰.۲ | ۲۰۰±۰.۲ |
| ۳.۲ | ضخامت | مایکروم | ۵۰۰±۲۵ | ۵۰۰±۲۵ | ۵۰۰±۲۵ |
| ۳.۳ | د نوچ سمت | ° | [۱- ۱۰۰]±۵ | [۱- ۱۰۰]±۵ | [۱- ۱۰۰]±۵ |
| ۳.۴ | د نوچ ژوروالی | mm | ۱~۱.۵ | ۱~۱.۵ | ۱~۱.۵ |
| ۳.۵ | د LTV | مایکروم | ≤5(10 ملي متره*10 ملي متره) | ≤5(10 ملي متره*10 ملي متره) | ≤۱۰(۱۰ ملي متره*۱۰ ملي متره) |
| ۳.۶ | ټي ټي وي | مایکروم | ≤۱۰ | ≤۱۰ | ≤۱۵ |
| ۳.۷ | رکوع | مایکروم | -۲۵~۲۵ | -۴۵~۴۵ | -۶۵~۶۵ |
| ۳.۸ | وارپ | مایکروم | ≤۳۰ | ≤۵۰ | ≤۷۰ |
| ۳.۹ | اې ایف ایم | nm | را≤0.2 | را≤0.2 | را≤0.2 |
| ۴: جوړښت | |||||
| ۴.۱ | د مایکرو پایپ کثافت | د منځنۍ/سانتي متره ۲ | ≤۲ | ≤۱۰ | ≤۵۰ |
| ۴.۲ | د فلزاتو مواد | اتومونه/cm2 | ≤۱E۱۱ | ≤۱E۱۱ | NA |
| ۴.۳ | ټي ایس ډي | د منځنۍ/سانتي متره ۲ | ≤۵۰۰ | ≤۱۰۰۰ | NA |
| ۴.۴ | د زړه د ناروغۍ (BPD) | د منځنۍ/سانتي متره ۲ | ≤۲۰۰۰ | ≤۵۰۰۰ | NA |
| ۴.۵ | ټیډ | د منځنۍ/سانتي متره ۲ | ≤۷۰۰۰ | ≤۱۰۰۰۰ | NA |
| ۵. د مخکینۍ کیفیت | |||||
| ۵.۱ | مخ | -- | Si | Si | Si |
| ۵.۲ | د سطحې پای | -- | د سی-فیس CMP | د سی-فیس CMP | د سی-فیس CMP |
| ۵.۳ | ذره | ای اې/وفر | ≤۱۰۰(اندازه≥۰.۳μm) | NA | NA |
| ۵.۴ | سکرېچ | ای اې/وفر | ≤5، ټول اوږدوالی ≤200mm | NA | NA |
| ۵.۵ | څنډه چپس/انډینټ/درزونه/داغونه/ککړتیا | -- | هیڅ نه | هیڅ نه | NA |
| ۵.۶ | د پولی ټایپ سیمې | -- | هیڅ نه | مساحت ≤10% | مساحت ≤30% |
| ۵.۷ | مخکینۍ نښه کول | -- | هیڅ نه | هیڅ نه | هیڅ نه |
| ۶: د شا کیفیت | |||||
| ۶.۱ | شاته پای | -- | د سي مخ MP | د سي مخ MP | د سي مخ MP |
| ۶.۲ | سکرېچ | mm | NA | NA | NA |
| ۶.۳ | د شا نیمګړتیاوې چپس/انډینټ | -- | هیڅ نه | هیڅ نه | NA |
| ۶.۴ | د شا ناهمواروالی | nm | را≤5 | را≤5 | را≤5 |
| ۶.۵ | د شا نښه کول | -- | نوچ | نوچ | نوچ |
| ۷: څنډه | |||||
| ۷.۱ | څنډه | -- | چمفر | چمفر | چمفر |
| ۸: بسته | |||||
| ۸.۱ | بسته بندي | -- | د ویکیوم سره ایپي چمتو بسته بندي | د ویکیوم سره ایپي چمتو بسته بندي | د ویکیوم سره ایپي چمتو بسته بندي |
| ۸.۲ | بسته بندي | -- | څو-ویفر د کیسیټ بسته بندي | څو-ویفر د کیسیټ بسته بندي | څو-ویفر د کیسیټ بسته بندي |
تفصيلي ډياګرام
خپل پیغام دلته ولیکئ او موږ ته یې واستوئ