۸ انچه سیلیکون ویفر P/N-ډول (۱۰۰) ۱-۱۰۰Ω ډمي ریکلیم سبسټریټ
د ویفر بکس معرفي کول
د ۸ انچه سیلیکون ویفر یو عام کارول شوی سیلیکون سبسټریټ مواد دی او په پراخه کچه د مدغم سرکټونو د تولید په پروسه کې کارول کیږي. دا ډول سیلیکون ویفرونه معمولا د مختلفو ډوله مدغم سرکټونو جوړولو لپاره کارول کیږي، پشمول د مایکرو پروسسرونو، حافظې چپس، سینسرونو او نورو بریښنایی وسیلو. د ۸ انچه سیلیکون ویفرونه معمولا د نسبتا لویو اندازو چپس جوړولو لپاره کارول کیږي، چې ګټې یې د لویې سطحې ساحې او په یو واحد سیلیکون ویفر کې د ډیرو چپس جوړولو وړتیا لري، چې د تولید موثریت زیاتوي. د ۸ انچه سیلیکون ویفر هم ښه میخانیکي او کیمیاوي ځانګړتیاوې لري، کوم چې د لوی پیمانه مدغم سرکټ تولید لپاره مناسب دی.
د محصول ځانګړتیاوې
۸" P/N ډول، پالش شوی سیلیکون ویفر (۲۵ ټوټې)
لارښوونه: ۲۰۰
مقاومت: 0.1 - 40 ohm•cm (دا ممکن د یوې برخې څخه بلې برخې ته توپیر ولري)
ضخامت: ۷۲۵+/-۲۰um
پرائم/مانیټر/ټیسټ ګریډ
د موادو ملکیتونه
پیرامیټر | ځانګړتیا |
ډول/ډوپینټ | پی، بورون این، فاسفورس این، انټيموني این، ارسنیک |
لارښوونې | <100>، <111> د پیرودونکي د ځانګړتیاوو له مخې د لارښوونې ټوټې کول |
د اکسیجن محتوا | 10۱۹د پیرودونکي د مشخصاتو له مخې د ppmA دودیز زغم |
د کاربن مواد | < 0.6 ppmA |
میخانیکي ځانګړتیاوې
پیرامیټر | لومړی | څارنه/ ازموینه الف | ازموینه |
قطر | ۲۰۰±۰.۲ ملي متره | ۲۰۰ ± ۰.۲ ملي متره | ۲۰۰ ± ۰.۵ ملي متره |
ضخامت | ۷۲۵±۲۰µm (معیاري) | ۷۲۵±۲۵µm(معیاري) ۴۵۰±۲۵µm ۶۲۵±۲۵µمتر ۱۰۰۰±۲۵µm ۱۳۰۰±۲۵µm ۱۵۰۰±۲۵ µm | ۷۲۵±۵۰µm (معیاري) |
ټي ټي وي | < ۵ µm | < ۱۰ µm | < ۱۵ µm |
رکوع | < 30 µm | < 30 µm | < ۵۰ µm |
نغاړل | < 30 µm | < 30 µm | < ۵۰ µm |
د څنډې ګردي کول | نیمه-STD | ||
نښه کول | یوازې لومړني نیمه فلیټ، نیمه ایس ټي ډي فلیټ جیدا فلیټ، نوچ |
پیرامیټر | لومړی | څارنه/ ازموینه الف | ازموینه |
د مخکینۍ برخې معیارونه | |||
د سطحې حالت | کیمیاوي میخانیکي پالش شوی | کیمیاوي میخانیکي پالش شوی | کیمیاوي میخانیکي پالش شوی |
د سطحې ناهمواروالی | < ۲ الف° | < ۲ الف° | < ۲ الف° |
ککړتیا ذرات @ >0.3 µm | = ۲۰ | = ۲۰ | = ۳۰ |
دوړې، خندقونه د نارنج پوستکی | هیڅ نه | هیڅ نه | هیڅ نه |
آره، مارکس سټرایټیشنونه | هیڅ نه | هیڅ نه | هیڅ نه |
د شا اړخ معیارونه | |||
درزونه، د پښو داغونه، د ارې نښې، داغونه | هیڅ نه | هیڅ نه | هیڅ نه |
د سطحې حالت | کاسټیک ایچ شوی |
تفصيلي ډياګرام


