AlN-on-NPSS ویفر: د لوړ حرارت، لوړ ځواک، او RF غوښتنلیکونو لپاره په غیر پالش شوي نیلم سبسټریټ باندې د لوړ فعالیت المونیم نایټرایډ طبقه
ځانګړتیاوې
د لوړ فعالیت AlN طبقه: المونیم نایټرایډ (AlN) د دې لپاره پیژندل کیږيلوړ حرارتي چالکتیا(~۲۰۰ واټ/متر·کیلوټ)،پراخه بینډ ګیپ، اولوړ ماتیدونکی ولتاژ، دا د دې لپاره یو مثالی مواد جوړويلوړ ځواک, لوړ فریکونسي، اولوړ حرارتغوښتنلیکونه.
غیر پالش شوی نیلم سبسټریټ (NPSS): غیر پالش شوی نیلم چمتو کوي aارزانه, په میخانیکي ډول قوياساس، د سطحې پالش کولو پیچلتیا پرته د اپیتیکسیل ودې لپاره یو باثباته بنسټ تضمینوي. د NPSS غوره میخانیکي ملکیتونه دا د ننګونکي چاپیریال لپاره دوامدار کوي.
لوړ حرارتي ثبات: د AlN-on-NPSS ویفر کولی شي د تودوخې د سختو بدلونونو سره مقاومت وکړي، چې دا د کارولو لپاره مناسب کويد برېښنا الکترونیکونه, د موټرو سیسټمونه, ایل ای ډي، اونظري غوښتنلیکونهچې د لوړې تودوخې شرایطو کې باثباته فعالیت ته اړتیا لري.
بریښنایی موصلیت: AlN د بریښنایی موصلیت غوره ځانګړتیاوې لري، دا د هغو غوښتنلیکونو لپاره مناسب کوي چیرې چېبریښنایی جلاوالیمهم دی، په شمول دد RF وسایلاومایکروویو الکترونیکي وسایل.
د تودوخې غوره ضایع کول: د لوړ حرارتي چالکتیا سره، د AlN طبقه د تودوخې مؤثره ضایع کول تضمینوي، کوم چې د لوړ ځواک او فریکونسۍ لاندې د کار کولو وسیلو فعالیت او اوږد عمر ساتلو لپاره اړین دی.
تخنیکي پیرامیټرې
| پیرامیټر | د ځانګړتیاوو |
| د ویفر قطر | ۲ انچه، ۴ انچه (د اړتیا وړ اندازې شتون لري) |
| د سبسټریټ ډول | غیر پالش شوی نیلم سبسټریټ (NPSS) |
| د AlN طبقې ضخامت | له ۲µm څخه تر ۱۰µm پورې (د اصلاح وړ) |
| د سبسټریټ ضخامت | ۴۳۰µm ± ۲۵µm (د ۲ انچه لپاره)، ۵۰۰µm ± ۲۵µm (د ۴ انچه لپاره) |
| د تودوخې چلښت | ۲۰۰ واټه/متر·کیلوبوټ |
| بریښنایی مقاومت | لوړ عایق، د RF غوښتنلیکونو لپاره مناسب |
| د سطحې ناهمواروالی | Ra ≤ 0.5µm (د AlN طبقې لپاره) |
| د موادو پاکوالی | لوړ پاکوالی AlN (99.9٪) |
| رنګ | سپین/غیر سپین (د روښانه رنګ لرونکي NPSS سبسټریټ سره د AlN طبقه) |
| د ویفر وارپ | د ۳۰µm څخه کم (معمولي) |
| د ډوپینګ ډول | غیر ډوپ شوی (کولای شي دودیز شي) |
غوښتنلیکونه
دAlN-on-NPSS ویفرپه څو صنعتونو کې د لوړ فعالیت پراخه غوښتنلیکونو لپاره ډیزاین شوی:
د لوړ ځواک الکترونیکونه: د AlN طبقې لوړ حرارتي چالکتیا او د عایق کولو ځانګړتیاوې دا دد بریښنا ټرانزیسټرونه, اصلاح کوونکي، اود بریښنا ICsکارول شوی پهموټر, صنعتي، اود نوي کیدونکي انرژۍسیسټمونه.
د راډیو فریکونسي (RF) اجزا: د AlN غوره بریښنایی موصلیت ځانګړتیاوې، د هغې د ټیټ ضایع سره یوځای، د تولید توان ورکويد RF ټرانزیسټرونه, HEMTs (د لوړ بریښنایی حرکت ټرانزیسټرونه)، او نورد مایکروویو اجزاچې په لوړه فریکونسۍ او د بریښنا په کچه په مؤثره توګه کار کوي.
نظري وسایل: AlN-on-NPSS ویفرونه په کې کارول کیږيلیزر ډایډونه, ایل ای ډي، اوعکس کشف کونکي، چیرته چېلوړ حرارتي چالکتیااومیخانیکي ټینګښتد اوږدې مودې لپاره د فعالیت ساتلو لپاره اړین دي.
د لوړ حرارت سینسرونه: د ویفر د سختې تودوخې سره د مقابلې وړتیا دا د دې لپاره مناسبه کويد تودوخې سینسرونهاود چاپیریال څارنهپه صنعتونو کې لکهفضايي, موټر، اوتېل او ګاز.
د سیمیکمډکټر بسته بندي: په کې کارول کیږي د تودوخې خپرونکياود تودوخې مدیریت طبقېد بسته بندۍ سیسټمونو کې، د سیمیکمډکټرونو اعتبار او موثریت ډاډمن کول.
پوښتنه او ځواب
پوښتنه: د سیلیکون په څیر دودیزو موادو په پرتله د AlN-on-NPSS ویفرونو اصلي ګټه څه ده؟
الف: اصلي ګټه یې د AlN دهلوړ حرارتي چالکتیا، کوم چې دا ته اجازه ورکوي چې په مؤثره توګه تودوخه تحلیل کړي، دا د دې لپاره مثالی کويلوړ ځواکاود لوړې فریکونسۍ غوښتنلیکونهچیرې چې د تودوخې مدیریت خورا مهم دی. سربیره پردې، AlN لري aپراخه بینډ ګیپاو غورهبرقي عایق، چې دا د کارولو لپاره غوره کويRFاود مایکروویو وسایلد دودیز سیلیکون په پرتله.
پوښتنه: ایا د NPSS ویفرونو کې د AlN طبقه دودیز کیدی شي؟
ځواب: هو، د AlN طبقه د ضخامت له مخې (له 2µm څخه تر 10µm یا ډیرو پورې) تنظیم کیدی شي ترڅو ستاسو د غوښتنلیک ځانګړي اړتیاوې پوره کړي. موږ د ډوپینګ ډول (N-ډول یا P-ډول) او د ځانګړو دندو لپاره اضافي پرتونو کې هم تخصیص وړاندیز کوو.
پوښتنه: د موټرو په صنعت کې د دې ویفر لپاره ځانګړی غوښتنلیک څه دی؟
الف: د موټرو په صنعت کې، AlN-on-NPSS ویفرونه معمولا په کې کارول کیږيد برېښنا الکترونیکونه, د LED رڼا سیسټمونه، اود تودوخې سینسرونهدوی غوره حرارتي مدیریت او بریښنایی موصلیت چمتو کوي، کوم چې د لوړ موثریت سیسټمونو لپاره اړین دي چې د تودوخې مختلف شرایطو لاندې کار کوي.
تفصيلي ډياګرام
