د ډبل سټیشن مربع ماشین مونوکریسټالین سیلیکون راډ پروسس کول 6/8/12 انچه سطحه فلیټنس Ra≤0.5μm

لنډ معلومات:

د مونوکریستالین سیلیکون ډبل سټیشن مربع ماشین د مونوکریستالین سیلیکون راډونو (انګوټ) پروسس کولو لپاره یو مؤثر تجهیزات دي. دا د دوه ګوني سټیشن همغږي عملیات ډیزاین غوره کوي او کولی شي په ورته وخت کې دوه سیلیکون راډونه پرې کړي، د تولید موثریت د پام وړ ښه کوي. دا وسیله د الماس تار پرې کولو ټیکنالوژۍ یا داخلي سرکلر آری بلیډونو له لارې سلنډر سیلیکون راډونه په مربع / نیم مربع سیلیکون بلاکونو (ګریټ) کې پروسس کوي، د وروسته ټوټې کولو لپاره چمتو کوي (لکه د سیلیکون ویفرونو جوړول)، او په پراخه کچه د فوتوولټیک او سیمیکمډکټر صنعتونو کې د سیلیکون موادو پروسس کولو لینکونو کې کارول کیږي.

موږ ته بریښنالیک واستوئ

ځانګړتیاوې

د تجهیزاتو ځانګړتیاوې:

(۱) د دوه ګوني سټیشن همغږي پروسس کول
· دوه ګونی موثریت: د دوه سیلیکون راډونو (Ø6"-12") یو ځای پروسس کول د سمپلیکس تجهیزاتو په پرتله د تولید کچه 40%-60% زیاتوي.

· خپلواک کنټرول: هر سټیشن کولی شي په خپلواکه توګه د پرې کولو پیرامیټرې (تشدد، د تغذیې سرعت) تنظیم کړي ترڅو د سیلیکون راډ مختلف مشخصاتو سره تطابق وکړي.

(۲) لوړ دقت پرې کول
· ابعادي دقت: د مربع بار اړخ واټن زغم ±0.15mm، حد ≤0.20mm.

· د سطحې کیفیت: د څنډې ماتیدل <0.5 ملي میتر، د وروسته پیس کولو مقدار کم کړئ.

(۳) هوښیار کنټرول
· تطابق کونکی قطع کول: د سیلیکون راډ مورفولوژي ریښتیني وخت څارنه، د پرې کولو لارې متحرک تنظیم کول (لکه د خم شوي سیلیکون راډ پروسس کول).

· د معلوماتو تعقیب وړتیا: د هر سیلیکون راډ د پروسس کولو پیرامیټرې ثبت کړئ ترڅو د MES سیسټم ډاکینګ ملاتړ وکړي.

(۴) د مصرف وړ ټیټ لګښت
· د الماس تار مصرف: ≤0.06m/mm (د سیلیکون راډ اوږدوالی)، د تار قطر ≤0.30mm.

· د کولنټ جریان: د فلټریشن سیسټم د خدمت ژوند اوږدوي او د فاضله مایعاتو ضایع کول کموي.

د ټکنالوژۍ او پرمختګ ګټې:

(۱) د پرې کولو ټیکنالوژۍ اصلاح کول
- څو کرښې پرې کول: ۱۰۰-۲۰۰ د الماس کرښې په موازي ډول کارول کیږي، او د پرې کولو سرعت یې ۴۰ ملي متره/ دقیقه دی.

- د فشار کنټرول: د تار د ماتیدو خطر کمولو لپاره د تړل شوي لوپ تنظیم کولو سیسټم (±1N).

(۲) د مطابقت توسیع
- د موادو تطابق: د P-ډول/N-ډول مونوکریسټالین سیلیکون ملاتړ کوي، د TOPCon، HJT او نورو لوړ موثریت بیټرۍ سیلیکون راډونو سره مطابقت لري.

- انعطاف منونکی اندازه: د سیلیکون راډ اوږدوالی ۱۰۰-۹۵۰ ملي متره، د مربع راډ اړخ واټن ۱۶۶-۲۳۳ ملي متره د تنظیم وړ.

(۳) د اتومات کولو لوړول
- د روبوټ بارول او خالي کول: د سیلیکون راډونو اتومات بارول / خالي کول، ≤3 دقیقې وخت نیسي.

- هوښیار تشخیص: د غیر پلان شوي بند وخت کمولو لپاره وړاندوینې ساتنه.

(۴) د صنعت مشرتابه
- د ویفر ملاتړ: کولی شي د مربع راډونو سره ≥100μm الټرا پتلی سیلیکون پروسس کړي، د ټوټې کیدو کچه <0.5٪.

- د انرژۍ مصرف اصلاح کول: د سیلیکون راډ د هر واحد انرژۍ مصرف 30٪ کم شوی (د دودیزو تجهیزاتو په پرتله).

تخنیکي پیرامیټرې:

د پیرامیټر نوم	د شاخص ارزښت
د پروسس شویو بارونو شمېر	دوه ټوټې / سیټ
د بار اوږدوالي لړۍ پروسس کول	۱۰۰ ~ ۹۵۰ ملي متره
د ماشین کولو حاشیې حد	۱۶۶~۲۳۳ ملي متره
د پرې کولو سرعت	≥40 ملي میتر / دقیقې
د الماس تار سرعت	۰~۳۵ متره/ ثانیې
د الماس قطر	0.30 ملي میتر یا لږ
خطي مصرف	0.06 متر/ملي متر یا لږ
د ګرد راډ قطر سره مطابقت لرونکی	بشپړ شوی مربع راډ قطر +2 ملي میتر، د پالش کولو پاس نرخ ډاډمن کړئ
د ماتیدو کنټرول	خام څنډه ≤0.5mm، هیڅ چپنه نشته، د سطحې لوړ کیفیت
د قوس اوږدوالی یوشانوالی	د پروجیکشن حد <1.5 ملي میتر، د سیلیکون راډ تحریف پرته
د ماشین ابعاد (واحد ماشین)	۴۸۰۰ × ۳۰۲۰ × ۳۶۶۰ ملي متره
ټول ټاکل شوی ځواک	۵۶ کیلو واټه
د تجهیزاتو مړ وزن	۱۲ ټنه

د ماشین کولو دقت شاخص جدول:

دقیق توکی	د زغم حد
د مربع بار حاشیې زغم	±0.15 ملي میتر
د مربع بار د څنډې حد	≤0.20 ملي میتر
د مربع راډ په ټولو خواوو کې زاویه	۹۰ درجې ± ۰.۰۵ درجې
د مربع راډ هواروالی	≤0.15 ملي میتر
د روبوټ تکراري موقعیت دقت	±0.05 ملي میتر

د XKH خدمات:

XKH د مونو-کرسټالین سیلیکون ډبل سټیشن ماشینونو لپاره بشپړ سایکل خدمات وړاندې کوي، پشمول د تجهیزاتو تنظیم کول (د لوی سیلیکون راډونو سره مطابقت لري)، د پروسې کمیشن کول (د پیرامیټر اصلاح کول)، عملیاتي روزنه او د پلور وروسته ملاتړ (د کلیدي برخو عرضه، لرې تشخیص)، ډاډ ترلاسه کول چې پیرودونکي لوړ حاصل (>99٪) او د ټیټ مصرف وړ لګښت تولید ترلاسه کوي، او تخنیکي پرمختګونه چمتو کوي (لکه د AI پرې کولو اصلاح کول). د تحویلۍ موده 2-4 میاشتې ده.