د P-ډول SiC ویفر 4H/6H-P 3C-N 6 انچه ضخامت 350 μm د لومړني فلیټ اورینټیشن سره
مشخصات 4H/6H-P ډول SiC جامع سبسټریټونه عام پیرامیټر جدول
6 د انچ قطر سیلیکون کاربایډ (SiC) سبسټریټ مشخصات
| درجه | صفر MPD تولیددرجه (Z درجه) | معیاري تولیددرجه (P درجه) | ډمی درجه (D درجه) | ||
| قطر | 145.5 mm ~ 150.0 mm | ||||
| موټی | 350 μm ± 25 μm | ||||
| ویفر اورینټیشن | -Offمحور: 2.0°-4.0° په لور [1120] ± 0.5° د 4H/6H-P لپاره، په محور کې: 〈111〉± 0.5° د 3C-N لپاره | ||||
| د مایکروپیپ کثافت | 0 cm-2 | ||||
| مقاومت | p-ډول 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| n-ډول 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
| لومړني فلیټ اورینټیشن | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| د لومړني فلیټ اوږدوالی | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
| ثانوي فلیټ اوږدوالی | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
| ثانوي فلیټ اورینټیشن | سیلیکون مخامخ: 90° CW. د لومړي فلیټ څخه ± 5.0 ° | ||||
| د څنډې جلا کول | 3 mm | 6 ملي متره | |||
| LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| سختوالی | پولنډي Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤ 0.5 nm | ||||
| د لوړ شدت د رڼا په واسطه د څنډې درزونه | هیڅ نه | مجموعي اوږدوالی ≤ 10 mm، واحد اوږدوالی≤ 2 mm | |||
| هیکس پلیټونه د لوړ شدت رڼا لخوا | مجموعي ساحه ≤0.05% | مجموعي ساحه ≤0.1% | |||
| د لوړ شدت د رڼا لخوا د پولیټایپ ساحې | هیڅ نه | مجموعي ساحه≤3% | |||
| د بصری کاربن شاملول | مجموعي ساحه ≤0.05% | مجموعي ساحه ≤3٪ | |||
| د لوړ شدت ر lightا لخوا د سیلیکون سطح سکریچ | هیڅ نه | مجموعي اوږدوالی≤1 × د ویفر قطر | |||
| د څراغ چپس د شدت رڼا لخوا لوړ | هیچا ته اجازه نشته ≥0.2mm پلنوالی او ژوروالی | 5 اجازه ورکړل شوې، ≤1 mm هر یو | |||
| د لوړ شدت په واسطه د سیلیکون سطح ککړتیا | هیڅ نه | ||||
| بسته بندي | ملټي ویفر کیسیټ یا واحد ویفر کانټینر | ||||
یادونه:
※ د نیمګړتیاوو محدودیتونه د ویفر ټول سطح باندې تطبیق کیږي پرته له دې چې د څنډې ایستلو ساحې څخه. # سکریچونه باید د سی او مخ باندې وڅیړل شي
د P-ډول SiC ویفر، 4H/6H-P 3C-N، د دې د 6 انچ اندازې او 350 μm ضخامت سره، د لوړ فعالیت بریښنا بریښنایی صنعتي تولید کې مهم رول لوبوي. د دې عالي حرارتي چالکتیا او لوړ ماتولو ولتاژ دا د تولید اجزاو لپاره مثالی کوي لکه د بریښنا سویچونه ، ډایډونه ، او ټرانزیسټرونه چې د تودوخې لوړ چاپیریال کې کارول کیږي لکه بریښنایی وسایط ، بریښنا شبکې ، او د نوي کیدونکي انرژي سیسټمونو کې. د ویفر وړتیا په سختو شرایطو کې د موثره کار کولو وړتیا په صنعتي غوښتنلیکونو کې د باور وړ فعالیت تضمینوي چې د لوړ بریښنا کثافت او انرژي موثریت ته اړتیا لري. سربیره پردې ، د دې لومړني فلیټ سمت د وسیلې جوړولو په جریان کې په دقیق ترتیب کې مرسته کوي ، د تولید موثریت او د محصول ثبات لوړوي.
د N-type SiC مرکب سبسټریټ ګټې شاملې دي
- لوړ حرارتي چلښت: د P-type SiC ویفرونه په مؤثره توګه تودوخه ضایع کوي، دوی د لوړ تودوخې غوښتنلیکونو لپاره غوره کوي.
- د لوړ ماتول ولتاژ: د لوړ ولتاژ سره د مقاومت وړتیا، د بریښنا برقیاتو او لوړ ولتاژ وسیلو کې د اعتبار ډاډ.
- د سخت چاپیریال په وړاندې مقاومت: په سختو شرایطو کې غوره پایښت، لکه د تودوخې لوړه درجه او ککړ چاپیریال.
- د بریښنا موثره تبادله: د P-ډول ډوپینګ د بریښنا موثره اداره کول اسانه کوي، ویفر د انرژي تبادلې سیسټمونو لپاره مناسب کوي.
- لومړني فلیټ اورینټیشن: د تولید په جریان کې دقیق سمون ډاډمن کوي، د وسیلې دقت او ثبات ښه کول.
- پتلی جوړښت (350 μm): د ویفر غوره ضخامت په پرمختللو، ځای محدود بریښنایی وسیلو کې ادغام ملاتړ کوي.
په ټولیز ډول، د P-ډول SiC ویفر، 4H/6H-P 3C-N، یو لړ ګټې وړاندې کوي چې دا د صنعتي او بریښنایی غوښتنلیکونو لپاره خورا مناسب کوي. د دې لوړ حرارتي چالکتیا او د ماتولو ولتاژ د لوړې تودوخې او لوړ ولټاژ چاپیریال کې د باور وړ عملیات وړوي ، پداسې حال کې چې د سختو شرایطو سره مقاومت د دوام تضمین کوي. د P-ډول ډوپینګ د بریښنا اغیزمن تبادلې ته اجازه ورکوي، دا د بریښنا بریښنایی او انرژي سیسټمونو لپاره مثالی کوي. سربیره پردې ، د ویفر لومړني فلیټ سمت د تولید پروسې په جریان کې دقیق سمون تضمینوي ، د تولید دوام ته وده ورکوي. د 350 μm ضخامت سره ، دا په پرمختللي ، کمپیکٹ وسیلو کې د ادغام لپاره ښه مناسب دی.
تفصيلي ډياګرام
