د سي سي سيرامیک فورک بازو / پای اغیز کوونکی - د سیمیکمډکټر تولید لپاره پرمختللي دقیق اداره کول

لنډ معلومات:

د SiC سیرامیک فورک بازو، چې ډیری وختونه د سیرامیک پای اغیز کونکي په نوم یادیږي، د لوړ فعالیت دقیق اداره کولو برخه ده چې په ځانګړي ډول د لوړ ټیکنالوژۍ صنعتونو کې د ویفر لیږد، سمون، او موقعیت لپاره رامینځته شوې، په ځانګړي توګه د سیمیکمډکټر او فوتوولټیک تولید کې. د لوړ پاکوالي سیلیکون کاربایډ سیرامیکونو په کارولو سره جوړ شوی، دا برخه استثنایی میخانیکي ځواک، خورا ټیټ حرارتي پراختیا، او د تودوخې شاک او زنګ وهلو لپاره غوره مقاومت سره یوځای کوي.

موږ ته بریښنالیک واستوئ

ځانګړتیاوې

تفصيلي ډياګرام

د محصول کتنه

د المونیم، سټینلیس سټیل، یا حتی کوارټز څخه جوړ شوي دودیز پای اغیز کونکو برعکس، د SiC سیرامیک پای اغیز کونکي په ویکیوم چیمبرونو، پاکو خونو، او سخت پروسس کولو چاپیریالونو کې بې ساري فعالیت وړاندې کوي، چې دوی د راتلونکي نسل ویفر اداره کولو روبوټونو کلیدي برخه جوړوي. د ککړتیا څخه پاک تولید لپاره د مخ په زیاتیدونکي غوښتنې او په چپ جوړونې کې د سخت زغم سره، د سیرامیک پای اغیز کونکو کارول په چټکۍ سره د صنعت معیار کیږي.

د تولید اصل

د جوړولود سي سي سیرامیک پای اغیز کونکيد لوړ دقت، لوړ پاکوالي پروسو لړۍ شامله ده چې فعالیت او دوام دواړه تضمینوي. دوه اصلي پروسې معمولا کارول کیږي:

د عکس العمل سره تړلی سیلیکون کاربایډ (RB-SiC)

په دې پروسه کې، د سیلیکون کاربایډ پوډر او باندر څخه جوړ شوی پریفارم په لوړه تودوخه (~1500°C) کې د ویلې شوي سیلیکون سره نفوذ کیږي، کوم چې د پاتې کاربن سره تعامل کوي ترڅو یو غلیظ، سخت SiC-Si مرکب جوړ کړي. دا طریقه غوره ابعادي کنټرول وړاندې کوي او د لوی پیمانه تولید لپاره ارزانه ده.

بې فشاره سینټر شوی سیلیکون کاربایډ (SSiC)

SSiC د الټرا-فائن، لوړ پاکوالي SiC پوډر په خورا لوړ تودوخې (>2000°C) کې د اضافه کونکو یا د تړلو مرحلې کارولو پرته د سینټر کولو له لارې جوړیږي. دا د نږدې 100٪ کثافت او د SiC موادو په مینځ کې ترټولو لوړ میخانیکي او حرارتي ملکیتونو سره محصول رامینځته کوي. دا د الټرا-کریټیکل ویفر اداره کولو غوښتنلیکونو لپاره مثالی دی.

د پروسس وروسته

دقیق CNC ماشین کول: لوړ فلیټنس او موازيتوب ترلاسه کوي.
د سطحې بشپړول: د الماس پالش کول د سطحې ناهموارۍ <0.02 µm ته راټیټوي.
تفتیش: د هرې ټوټې د تایید لپاره آپټیکل انټرفیرومیټري، CMM، او غیر تخریبي ازموینې کارول کیږي.

دا ګامونه تضمینوي چې دد سي سي پای اغیز کوونکید ویفر ځای پرځای کولو دوامداره دقت، غوره پلانارټي، او لږترلږه ذراتو تولید وړاندې کوي.

مهمې ځانګړتیاوې او ګټې

ځانګړتیا	تفصیل
خورا لوړ سختوالی	د ویکرز سختۍ له ۲۵۰۰ HV څخه زیات، د اغوستلو او چپولو په وړاندې مقاومت کوي.
ټیټ حرارتي انتشار	CTE ~4.5×10⁻⁶/K، چې په حرارتي سایکل چلولو کې ابعادي ثبات فعالوي.
کیمیاوي بې ثباتي	د HF، HCl، پلازما ګازونو، او نورو زنګ وهونکو اجنټانو په وړاندې مقاومت لري.
د تودوخې شاک عالي مقاومت	د ویکیوم او فرنس سیسټمونو کې د چټک تودوخې / یخولو لپاره مناسب.
لوړ سختي او ځواک	د اوږدې کینټیلیور فورک بازو ملاتړ کوي پرته له انحراف څخه.
د ګازو کم اخراج	د الټرا لوړ ویکیوم (UHV) چاپیریال لپاره مثالی.
د ISO ټولګي 1 پاک خونه چمتو ده	د ذراتو څخه پاک عملیات د ویفر بشپړتیا تضمینوي.

غوښتنلیکونه

د سي سي سيرامیک فورک آرم / پای اغیز کوونکی په پراخه کچه په هغو صنعتونو کې کارول کیږي چې خورا دقت، پاکوالي او کیمیاوي مقاومت ته اړتیا لري. د کارولو کلیدي سناریوګانې پدې کې شاملې دي:

د سیمیکمډکټر تولید

په ډیپوزیشن (CVD، PVD)، ایچنګ (RIE، DRIE)، او پاکولو سیسټمونو کې د ویفر بارول/بشپړول.
د FOUPs، کیسټونو، او پروسس وسیلو ترمنځ روبوټیک ویفر لیږد.
د تودوخې پروسس کولو یا انیل کولو پرمهال د لوړې تودوخې اداره کول.

د فوتوولټیک حجرو تولید

په اتوماتیک لینونو کې د نازک سیلیکون ویفرونو یا لمریز سبسټریټ نازک لیږد.

د فلیټ پینل ښودنې (FPD) صنعت

د OLED/LCD تولید چاپیریال کې د لویو شیشې تختو یا سبسټریټ لیږدول.

مرکب سیمیکمډکټر / MEMS

په GaN، SiC، او MEMS جوړولو لینونو کې کارول کیږي چیرې چې د ککړتیا کنټرول او د موقعیت دقت خورا مهم دی.

د دې د پای اغیز کونکي رول په ځانګړي ډول د حساسو عملیاتو په جریان کې د عیبونو څخه پاک او باثباته اداره کولو ډاډ ترلاسه کولو کې خورا مهم دی.

د اصلاح کولو وړتیاوې

موږ د مختلفو تجهیزاتو او پروسې اړتیاو پوره کولو لپاره پراخه تخصیص وړاندې کوو:

د فورک ډیزاین: دوه ګوتې، څو ګوتې، یا ویشل شوې کچې ترتیبونه.
د ویفر اندازې مطابقت: له ۲” څخه تر ۱۲” پورې ویفرونه.
د نصبولو انٹرفیسونه: د OEM روبوټیک وسلو سره مطابقت لري.
ضخامت او د سطحې زغم: د مایکرون په کچه فلیټنس او د څنډې ګردي شتون لري.
د پرچی ضد ځانګړتیاوې: د خوندي ویفر گرفت لپاره اختیاري سطحي جوړښتونه یا پوښښونه.

هر یود سیرامیک پای اغیز کوونکید مراجعینو سره په ګډه ډیزاین شوی ترڅو د لږترلږه وسیلو بدلونونو سره دقیق فټمینټ ډاډمن کړي.

ډیری پوښتل شوي پوښتنې (FAQ)

لومړۍ پوښتنه: د پای اغیز کونکي غوښتنلیک لپاره SiC څنګه د کوارټز څخه غوره دی؟
الف ۱:که څه هم کوارټز عموما د خپل پاکوالي لپاره کارول کیږي، دا میخانیکي سختۍ نلري او د بار یا د تودوخې شاک لاندې د ماتیدو احتمال لري. SiC غوره ځواک، د اغوستلو مقاومت، او حرارتي ثبات وړاندې کوي، چې د پام وړ د بندیدو او ویفر زیان خطر کموي.

پوښتنه ۲: ایا دا سیرامیک فورک بازو د ټولو روبوټیک ویفر هینډلرونو سره مطابقت لري؟
A2:هو، زموږ د سیرامیک پای اغیز کونکي د ډیری لوی ویفر اداره کولو سیسټمونو سره مطابقت لري او ستاسو د ځانګړي روبوټیک ماډلونو سره د دقیق انجینرۍ نقاشیو سره تطبیق کیدی شي.

دریمه پوښتنه: ایا دا د وارپ کولو پرته د 300 ملي میتر ویفرونو اداره کولی شي؟
A3:په بشپړه توګه. د SiC لوړ سختوالی حتی نری، اوږد فورک بازو ته اجازه ورکوي چې د حرکت په جریان کې د 300 ملي میتر ویفرونه په خوندي ډول وساتي پرته له دې چې لویږي یا انحراف وکړي.

څلورمه پوښتنه: د SiC سیرامیک پای اغیز کونکي عادي خدمت ژوند څومره دی؟
A4:د سم استعمال سره، د SiC پای اغیز کوونکی کولی شي د دودیزو کوارټز یا المونیم ماډلونو په پرتله له 5 څخه تر 10 ځله پورې اوږد دوام وکړي، د تودوخې او میخانیکي فشار په وړاندې د غوره مقاومت څخه مننه.

پنځمه پوښتنه: ایا تاسو د بدیل یا چټک پروټوټایپ خدمتونه وړاندې کوئ؟
A5:هو، موږ د چټک نمونې تولید ملاتړ کوو او د موجوده تجهیزاتو څخه د CAD انځورونو یا ریورس انجینر شوي برخو پراساس د بدیل خدمات وړاندې کوو.

زموږ په اړه

XKH د ځانګړو آپټیکل شیشې او نوي کرسټال موادو په لوړ ټیکنالوژۍ پراختیا، تولید او پلور کې تخصص لري. زموږ محصولات آپټیکل الیکترونیکونه، مصرف کونکي الیکترونیکونه او اردو ته خدمت کوي. موږ د سیفایر آپټیکل اجزا، د ګرځنده تلیفون لینز پوښونه، سیرامیکونه، LT، سیلیکون کاربایډ SIC، کوارټز، او سیمیکمډکټر کرسټال ویفرونه وړاندې کوو. د ماهر تخصص او عصري تجهیزاتو سره، موږ د غیر معیاري محصول پروسس کولو کې غوره یو، چې موخه یې د لوړ ټیکنالوژۍ مخکښ آپټو الیکترونیک موادو تصدۍ وي.