د سیلیکون کاربایډ سیرامیک ټری سوکر سیلیکون کاربایډ سیرامیک ټیوب د لوړ تودوخې سینټرینګ دودیز پروسس کولو عرضه کوي
اصلي ځانګړتیاوې:
۱. د سیلیکون کاربایډ سیرامیک ټری
- لوړ سختۍ او د اغوستلو مقاومت: سختۍ الماس ته نږدې ده، او کولی شي د اوږدې مودې لپاره د ویفر پروسس کولو کې میخانیکي اغوستلو سره مقاومت وکړي.
- لوړ حرارتي چالکتیا او ټیټ حرارتي توسعې کوفیشینټ: د تودوخې ګړندی تحلیل او ابعادي ثبات، د تودوخې فشار له امله رامینځته شوي خرابوالي څخه مخنیوی کوي.
- لوړ فلیټینګ او د سطحې پای: د سطحې فلیټینګ د مایکرون کچې پورې دی، د ویفر او ډیسک ترمنځ بشپړ تماس ډاډمن کوي، ککړتیا او زیان کموي.
کیمیاوي ثبات: د زنګ وهلو قوي مقاومت، د سیمیکمډکټر تولید کې د لوند پاکولو او ایچینګ پروسو لپاره مناسب.
2. د سیلیکون کاربایډ سیرامیک ټیوب
- د لوړې تودوخې مقاومت: دا کولی شي د اوږدې مودې لپاره د 1600 درجو څخه پورته د لوړې تودوخې چاپیریال کې کار وکړي، د سیمیکمډکټر لوړ تودوخې پروسې لپاره مناسب.
د زنګ وهلو غوره مقاومت: د تیزابونو، الکلیس او مختلفو کیمیاوي محلولونو په وړاندې مقاومت لري، د سخت پروسې چاپیریال لپاره مناسب.
- لوړ سختۍ او د اغوستلو مقاومت: د ذراتو تخریب او میخانیکي اغوستلو په وړاندې مقاومت وکړئ، د خدمت ژوند وغځوئ.
- لوړ حرارتي چالکتیا او د تودوخې د پراختیا ټیټ ضخامت: د تودوخې چټک لیږد او ابعادي ثبات، د تودوخې فشار له امله رامینځته شوي خرابوالی یا درزونه کموي.
د محصول پیرامیټر:
د سیلیکون کاربایډ سیرامیک ټری پیرامیټر:
| (مادي ملکیت) | (یونټ) | (سیک) | |
| (د سي سي منځپانګه) | (واټ)٪ | > ۹۹ | |
| (د غلې دانې منځنۍ اندازه) | مایکرون | ۴-۱۰ | |
| (کثافت) | کیلوګرام/ډیم متر۳ | >۳.۱۴ | |
| (ظاهري سوری) | ۱٪ | <0.5 | |
| (د ویکرز سختۍ) | د HV 0.5 | جي پي اې | 28 |
| *() انعطاف منونکی ځواک* (درې ټکي) | 20ºC | MPa | ۴۵۰ |
| (کمپریسیو ځواک) | 20ºC | MPa | ۳۹۰۰ |
| (لچک لرونکی ماډول) | 20ºC | جي پي اې | ۴۲۰ |
| (د ماتیدو سختوالی) | MPa/m'% | ۳.۵ | |
| (د حرارتي چالکتیا) | ۲۰ درجې سانتي ګراد | واټ/(متر*کلومیټری) | ۱۶۰ |
| (مقاومت) | ۲۰ درجې سانتي ګراد | اوهم سانتي متره | ۱۰۶-۱۰۸ |
(د حرارتي پراختیا ضریب) | الف (RT**...۸۰ درجو) | K-1*10-6 | ۴.۳ |
(د عملیاتي تودوخې اعظمي حد) | د لمر د درجې | ۱۷۰۰ | |
د سیلیکون کاربایډ سیرامیک ټیوب پیرامیټر:
| توکي | ډېرځليزې |
| α-SIC د | ۹۹٪ دقیقې |
| ظاهري سوروالی | ۱۶٪ اعظمي |
| د حجم کثافت | ۲.۷ ګرامه/سانتي متره دقیقې |
| په لوړه تودوخه کې د خمیدو ځواک | ۱۰۰ میګاپټره دقیقه |
| د حرارتي انبساط ضریب | K-1 4.7x10 -6 |
| د تودوخې چلښت ضریب (۱۴۰۰ºC) | ۲۴ واټه/میک مکعب |
| اعظمي کاري تودوخه | ۱۶۵۰ درجو |
اصلي غوښتنلیکونه:
۱. د سیلیکون کاربایډ سیرامیک پلیټ
- د ویفر پرې کول او پالش کول: د بیرینګ پلیټ فارم په توګه کار کوي ترڅو د پرې کولو او پالش کولو پرمهال لوړ دقت او ثبات ډاډمن کړي.
- د لیتوګرافۍ پروسه: ویفر په لیتوګرافي ماشین کې تنظیم شوی ترڅو د افشا کیدو پرمهال لوړ دقت موقعیت ډاډمن کړي.
- کیمیاوي میخانیکي پالش کول (CMP): د پیډونو پالش کولو لپاره د ملاتړ پلیټ فارم په توګه کار کوي، یوشان فشار او تودوخې ویش چمتو کوي.
2. د سیلیکون کاربایډ سیرامیک ټیوب
- د لوړې تودوخې فرنس ټیوب: د لوړې تودوخې تجهیزاتو لکه د خپریدو فرنس او اکسیډیشن فرنس لپاره کارول کیږي ترڅو د لوړې تودوخې پروسې درملنې لپاره ویفرونه انتقال کړي.
- د CVD/PVD پروسه: د غبرګون په خونه کې د بیرنگ ټیوب په توګه، د لوړې تودوخې او زنګ وهونکو ګازونو په وړاندې مقاومت لري.
- د سیمیکمډکټر تجهیزاتو لوازم: د تودوخې تبادلې کونکو، ګاز پایپ لاینونو او نورو لپاره، د تجهیزاتو د تودوخې مدیریت موثریت ښه کولو لپاره.
XKH د سیلیکون کاربایډ سیرامیک ټریونو، سکشن کپونو او سیلیکون کاربایډ سیرامیک ټیوبونو لپاره د ګمرکي خدماتو بشپړ لړۍ وړاندې کوي. د سیلیکون کاربایډ سیرامیک ټری او سکشن کپونه، XKH د مختلفو اندازو، شکلونو او سطحې ناهموارۍ د پیرودونکو اړتیاو سره سم تنظیم کیدی شي، او د ځانګړي کوټینګ درملنې ملاتړ کوي، د اغوستلو مقاومت او د زنګ مقاومت لوړوي؛ د سیلیکون کاربایډ سیرامیک ټیوبونو لپاره، XKH کولی شي د داخلي قطر، بهرني قطر، اوږدوالي او پیچلي جوړښت مختلف ډولونه (لکه شکل لرونکی ټیوب یا مسام لرونکی ټیوب) تنظیم کړي، او پالش کول، د اکسیډیشن ضد کوټینګ او د سطحې درملنې نورې پروسې چمتو کړي. XKH ډاډ ورکوي چې پیرودونکي کولی شي د سیلیکون کاربایډ سیرامیک محصولاتو د فعالیت ګټو څخه بشپړه ګټه پورته کړي ترڅو د لوړ پای تولیدي ساحو لکه سیمیکمډکټرونو، لیډونو او فوتوولټیکونو غوښتنې اړتیاوې پوره کړي.
تفصيلي ډياګرام
