د سیلیکون کاربایډ الماس تار پرې کولو ماشین 4/6/8/12 انچه SiC انګوټ پروسس کول
د کار اصل:
۱. د انګوټ فکسیشن: د SiC انګوټ (4H/6H-SiC) د فکسچر له لارې د پرې کولو پلیټ فارم کې تنظیم شوی ترڅو د موقعیت دقت (±0.02mm) ډاډمن شي.
2. د الماس کرښې حرکت: د الماس کرښه (په سطحه د الماس الیکټروپلیټ شوي ذرات) د لوړ سرعت گردش لپاره د لارښود څرخ سیسټم لخوا پرمخ وړل کیږي (د کرښې سرعت 10 ~ 30m/s).
۳. د فیډ پرې کول: د انګوټ د ټاکل شوي لوري سره تغذیه کیږي، او د الماس کرښه په یو وخت کې د څو موازي لینونو (۱۰۰ ~ ۵۰۰ لینونو) سره پرې کیږي ترڅو ډیری ویفرونه جوړ کړي.
۴. یخ کول او چپس لرې کول: د تودوخې زیان کمولو او چپس لرې کولو لپاره د پرې کولو په ساحه کې د کولنټ (ډیونایز شوي اوبه + اضافه کونکي) سپری کړئ.
مهم پیرامیټرې:
۱. د پرې کولو سرعت: ۰.۲~۱.۰ ملي متره/دقیقه (د SiC د کرسټال لوري او ضخامت پورې اړه لري).
2. د کرښې فشار: 20~50N (ډیر لوړ د کرښې ماتول اسانه دي، ډیر ټیټ د پرې کولو دقت اغیزه کوي).
۳. د ویفر ضخامت: معیاري ۳۵۰~۵۰۰μm، ویفر کولی شي ۱۰۰μm ته ورسیږي.
اصلي ځانګړتیاوې:
(۱) د پرې کولو دقت
د ضخامت زغم: ±5μm (@350μm ویفر)، د دودیز هاوان پرې کولو څخه غوره (±20μm).
د سطحې ناهمواروالی: Ra<0.5μm (د راتلونکي پروسس کولو مقدار کمولو لپاره اضافي پیس کولو ته اړتیا نشته).
وارپایج: <10μm (د وروسته پالش کولو مشکل کم کړئ).
(۲) د پروسس موثریت
څو کرښې پرې کول: په یو وخت کې ۱۰۰ ~ ۵۰۰ ټوټې پرې کول، د تولید ظرفیت ۳ ~ ۵ ځله زیاتول (د یوې کرښې پرې کولو په پرتله).
د کرښې ژوند: د الماس کرښه کولی شي 100 ~ 300 کیلومتره SiC پرې کړي (د انګوټ سختۍ او د پروسې اصلاح پورې اړه لري).
(۳) د ټیټ زیان پروسس کول
د څنډې ماتیدل: <15μm (دودیز پرې کول> 50μm)، د ویفر حاصلات ښه کوي.
د ځمکې لاندې زیان طبقه: <5μm (د پالش کولو لرې کول کم کړئ).
(۴) د چاپیریال ساتنه او اقتصاد
د هاوان ککړتیا نشته: د هاوان پرې کولو په پرتله د فاضله موادو د تصفیې لګښتونه کم شوي.
د موادو کارول: د پرې کولو ضایع <100μm/ کټر، د SiC خام مواد خوندي کوي.
د پرې کولو اغیز:
۱. د ویفر کیفیت: په سطحه هیڅ میکروسکوپي درزونه نشته، لږ مایکروسکوپي نیمګړتیاوې (د کنټرول وړ بې ځایه کیدو توسیع). کولی شي په مستقیم ډول د سخت پالش کولو لینک ته ننوځي، د پروسې جریان لنډ کړي.
2. تسلسل: په بیچ کې د ویفر ضخامت انحراف <±3٪ دی، د اتوماتیک تولید لپاره مناسب دی.
۳. د تطبیق وړتیا: د 4H/6H-SiC انګوټ پرې کولو ملاتړ، د کنډکټیو/نیم موصل ډول سره مطابقت لري.
تخنیکي مشخصات:
| د ځانګړتیاوو | جزیات |
| ابعاد (L × W × H) | ۲۵۰۰x۲۳۰۰x۲۵۰۰ یا دودیز کړئ |
| د موادو د اندازې لړۍ پروسس کول | ۴، ۶، ۸، ۱۰، ۱۲ انچه سیلیکون کاربایډ |
| د سطحې ناهمواروالی | را≤0.3u |
| د اوسط پرې کولو سرعت | 0.3 ملي متره/دقیقه |
| وزن | ۵.۵ ټنه |
| د پرې کولو پروسې تنظیم کولو مرحلې | ≤30 ګامونه |
| د وسایلو شور | ≤۸۰ ډی بي |
| د فولادو تار فشار | 0~110N(0.25 د تار فشار 45N دی) |
| د فولادو تار سرعت | ۰~۳۰ متره/ساعت |
| ټول ځواک | ۵۰ کیلو واټه |
| د الماس تار قطر | ≥0.18 ملي میتر |
| د فلیټ والي پای | ≤0.05 ملي میتر |
| د پرې کولو او ماتولو کچه | ≤1٪ (پرته له انساني دلایلو، سیلیکون موادو، لاین، ساتنه او نورو دلایلو) |
د XKH خدمات:
XKH د سیلیکون کاربایډ الماس تار پرې کولو ماشین ټول پروسې خدمتونه وړاندې کوي، پشمول د تجهیزاتو انتخاب (د تار قطر / د تار سرعت سره سمون)، د پروسې پراختیا (د قطع کولو پیرامیټر اصلاح کول)، د مصرفي توکو عرضه (د الماس تار، لارښود څرخ) او د پلور وروسته ملاتړ (د تجهیزاتو ساتنه، د قطع کولو کیفیت تحلیل)، ترڅو پیرودونکو سره د لوړ حاصل (>95٪)، د ټیټ لګښت SiC ویفر ډله ایز تولید ترلاسه کولو کې مرسته وکړي. دا د 4-8 اونیو د مخکښ وخت سره دودیز شوي اپ گریڈونه (لکه الټرا پتلی پرې کول، اتومات بار کول او پورته کول) هم وړاندې کوي.
تفصيلي ډياګرام
