سیلیکون کاربایډ (SiC) ویفر کښتۍ
تفصيلي ډياګرام
د کوارټز شیشې عمومي کتنه
د سیلیکون کاربایډ (SiC) ویفر کښتۍ د سیمیکمډکټر پروسې کیریر دی چې د لوړ پاکوالي SiC موادو څخه جوړ شوی، چې د لوړ تودوخې مهمو پروسو لکه ایپیټیکسي، اکسیډیشن، ډیفیوژن، او انیل کولو په جریان کې د ویفرونو ساتلو او لیږدولو لپاره ډیزاین شوی.
د بریښنا سیمیکمډکټرونو او پراخه بینډ ګیپ وسیلو د چټک پرمختګ سره، دودیز کوارټز کښتۍ د لوړې تودوخې کې د خرابوالي، د شدید ذراتو ککړتیا، او لنډ خدمت ژوند په څیر محدودیتونو سره مخ دي. د SiC ویفر کښتۍ، چې غوره حرارتي ثبات، ټیټ ککړتیا، او اوږد ژوند لري، په زیاتیدونکي توګه د کوارټز کښتۍ ځای په ځای کوي او د SiC وسیلو په تولید کې غوره انتخاب کیږي.
کلیدي ځانګړتیاوې
۱. د موادو ګټې
-
د لوړ پاکوالي SiC څخه جوړ شوی دلوړ سختۍ او قوت.
-
د ویلې کېدو نقطه د ۲۷۰۰ درجو سانتي ګراد څخه پورته، د کوارټز په پرتله ډیره لوړه ده، چې په سختو چاپیریالونو کې اوږدمهاله ثبات تضمینوي.
۲. د تودوخې ځانګړتیاوې
-
د چټک او یوشان تودوخې لیږد لپاره لوړ حرارتي چالکتیا، د ویفر فشار کموي.
-
د تودوخې پراخېدو ضریب (CTE) د SiC سبسټریټونو سره نږدې سمون لري، چې د ویفر د غوڅیدو او درزونو کمولو لامل کیږي.
۳. کیمیاوي ثبات
-
د لوړې تودوخې او مختلفو اتموسفیرونو (H₂، N₂، Ar، NH₃، او داسې نورو) لاندې ثبات لري.
-
د اکسیډیشن غوره مقاومت، د تخریب او ذراتو تولید مخه نیسي.
4. د پروسې فعالیت
-
نرمه او ګڼه سطحه د ذراتو توییدل او ککړتیا کموي.
-
د اوږدې مودې کارونې وروسته ابعادي ثبات او د بار وړلو ظرفیت ساتي.
۵. د لګښت موثریت
-
د کوارټز کښتیو په پرتله 3-5 ځله اوږد خدمت ژوند.
-
د ساتنې فریکونسۍ کمول، د ځنډ وخت او ځای په ځای کولو لګښتونه کمول.
غوښتنلیکونه
-
د سي سي اپیټکسی: د لوړې تودوخې اپیتیکسیل ودې په جریان کې د 4 انچه، 6 انچه، او 8 انچه SiC سبسټریټ ملاتړ کوي.
-
د بریښنا د وسایلو جوړول: د SiC MOSFETs، Schottky Barrier Diodes (SBDs)، IGBTs، او نورو وسیلو لپاره مثالی.
-
د تودوخې درملنه: د انیل کولو، نایټریډیشن، او کاربنائزیشن پروسې.
-
اکسیډیشن او خپریدل: د لوړ حرارت اکسیډیشن او خپریدو لپاره د ویفر مستحکم ملاتړ پلیټ فارم.
تخنیکي مشخصات
| توکي | د ځانګړتیاوو |
|---|---|
| د موادو | د لوړ پاکوالي سیلیکون کاربایډ (SiC) |
| د ویفر اندازه | ۴ انچه / ۶ انچه / ۸ انچه (د اصلاح وړ) |
| اعظمي عملیاتي تودوخه. | ≤ ۱۸۰۰ درجو سانتي ګراد |
| د حرارتي پراختیا CTE | ۴.۲ × ۱۰⁻⁶ /K (د SiC سبسټریټ ته نږدې) |
| د تودوخې چلښت | ۱۲۰–۲۰۰ واټ/متر·کیلو متر |
| د سطحې ناهمواروالی | را < 0.2 μm |
| موازيتوب | ±0.1 ملي متره |
| د خدمت ژوند | د کوارټز کښتیو په پرتله ≥ 3× اوږد |
پرتله کول: د کوارټز کښتۍ د SiC کښتۍ په مقابل کې
| اندازه | کوارټز کښتۍ | سي سي کښتۍ |
|---|---|---|
| د تودوخې مقاومت | ≤ ۱۲۰۰ درجو سانتي ګراد، په لوړه تودوخه کې خرابوالی. | ≤ ۱۸۰۰ درجو سانتي ګراد، په تودوخه کې مستحکم |
| د سي ټي ای لوبه د سي سي سره | لویه بې اتفاقي، د ویفر فشار خطر | د میچ نږدې کول، د ویفر درز کموي |
| د ذراتو ککړتیا | لوړ، ناپاکۍ تولیدوي | ټیټه، نرمه او ګڼه سطحه |
| د خدمت ژوند | لنډ، پرله پسې بدلون | اوږد، ۳-۵× اوږد عمر |
| مناسبه پروسه | دودیز Si ایپیټیکسي | د SiC ایپیټیکسي او بریښنا وسیلو لپاره غوره شوی |
FAQ – سیلیکون کاربایډ (SiC) ویفر کښتۍ
۱. د SiC ویفر کښتۍ څه شی دی؟
د SiC ویفر کښتۍ د سیمیکمډکټر پروسې کیریر دی چې د لوړ پاکوالي سیلیکون کاربایډ څخه جوړ شوی. دا د لوړ تودوخې پروسو لکه ایپیټیکسي، اکسیډیشن، خپریدو، او انیل کولو په جریان کې د ویفرونو ساتلو او لیږدولو لپاره کارول کیږي. د دودیزو کوارټز کښتیو په پرتله، د SiC ویفر کښتۍ غوره حرارتي ثبات، ټیټ ککړتیا، او اوږد خدمت ژوند وړاندې کوي.
۲. ولې د کوارټز کښتیو پرځای د SiC ویفر کښتۍ غوره کړئ؟
-
د لوړې تودوخې مقاومت: د کوارټز (≤1200°C) په پرتله تر 1800°C پورې مستحکم.
-
غوره CTE میچ: د SiC سبسټریټونو ته نږدې، د ویفر فشار او درزونه کموي.
-
د ذراتو ټیټ تولید: نرمه او ګڼه سطحه ککړتیا کموي.
-
اوږد عمر: د کوارټز کښتیو په پرتله ۳-۵ ځله اوږد، د مالکیت لګښت کموي.
۳. د SiC ویفر کښتۍ د کومو ویفر اندازو ملاتړ کولی شي؟
موږ د دې لپاره معیاري ډیزاینونه چمتو کوو۴ انچه، ۶ انچه، او ۸ انچهویفرونه، د پیرودونکو اړتیاو پوره کولو لپاره بشپړ تخصیص سره شتون لري.
۴. په کومو پروسو کې د SiC ویفر کښتۍ معمولا کارول کیږي؟
-
د SiC اپیتیکسیل وده
-
د بریښنا نیمه نیمه وسیلو تولید (SiC MOSFETs، SBDs، IGBTs)
-
د لوړې تودوخې انیل کول، نایټریډیشن، او کاربنیزیشن
-
د اکسیډیشن او خپریدو پروسې
زموږ په اړه
XKH د ځانګړو آپټیکل شیشې او نوي کرسټال موادو په لوړ ټیکنالوژۍ پراختیا، تولید او پلور کې تخصص لري. زموږ محصولات آپټیکل الیکترونیکونه، مصرف کونکي الیکترونیکونه او اردو ته خدمت کوي. موږ د سیفایر آپټیکل اجزا، د ګرځنده تلیفون لینز پوښونه، سیرامیکونه، LT، سیلیکون کاربایډ SIC، کوارټز، او سیمیکمډکټر کرسټال ویفرونه وړاندې کوو. د ماهر تخصص او عصري تجهیزاتو سره، موږ د غیر معیاري محصول پروسس کولو کې غوره یو، چې موخه یې د لوړ ټیکنالوژۍ مخکښ آپټو الیکترونیک موادو تصدۍ وي.










