د الټرا-پریسیژن SiC هوایی بییرنګ مرحله
تفصيلي ډياګرام
عمومي کتنه
د سیمیکمډکټر صنعت د دوامداره پرمختګ سره، د پروسس کولو او تفتیش تجهیزات د تل لپاره لوړ فعالیت ته اړتیا لري. د حرکت کنټرول او نانومیټر کچې موقعیت کې د پراخې تخصص په جوړولو سره، موږ د پلانر H-ډول دوه اړخیز محور الټرا-دقیق هوا بیرنگ مرحله رامینځته کړې.
د محدود عنصر لپاره مطلوب سیلیکون کاربایډ (SiC) سیرامیک جوړښت او د هوا د برداشت کولو ټیکنالوژۍ سره انجینر شوی، دا مرحله د پام وړ دقت، سختۍ، او متحرک غبرګون وړاندې کوي. دا په مثالي توګه د دې لپاره مناسب دی:
-
د سیمیکمډکټر پروسس او تفتیش
مایکرو/نانو جوړول او میټرولوژي
د نانومیټر په پیمانه د مچۍ پرې کول او پالش کول
د لوړ سرعت دقت سکین کول
کلیدي ځانګړتیاوې
-
د SiC هوا لرونکی لارښودد خورا لوړ سختۍ او دقت لپاره
-
لوړ متحرکات: سرعت تر ۱ متر/ ثانیې پورې، سرعت تر ۴ ګرامه پورې، چټک ځای پر ځای کېدل
-
دوه ګونی ډرایو ګینټري Y محورد لوړ بار ظرفیت او ثبات ډاډمن کوي
-
د کوډ ورکونکي اختیارونه: نظري جالی یا لیزر انټرفیرومیټر
-
د موقعیت دقت: ±0.15 μm;د تکرار وړتیا: ±۷۵ نانو متره
-
د کیبل روټینګ اصلاح شوید پاک ډیزاین او اوږدمهاله اعتبار لپاره
-
د تنظیم وړ تشکیلاتد غوښتنلیک ځانګړو اړتیاوو لپاره
الټرا-دقیق ډیزاین او مستقیم ډرایو، غیر اړیکه معمارۍ
-
د سي سي سرامیک چوکاټ: د المونیم الیاژ سختوالی ~5× او د حرارتي پراختیا ټیټوالی ~5×، د لوړ سرعت ثبات او حرارتي پیاوړتیا ډاډمن کوي.
-
د هوا د بیرغ جبران: ملکیتي ډیزاین سختوالی، د بار وړلو ظرفیت، او د حرکت ثبات لوړوي.
-
متحرک فعالیت: د ۱ متر/ثانیې سرعت او ۴ ګرامه سرعت ملاتړ کوي، د لوړ تروپټ پروسو لپاره مثالی.
-
بې سیم ادغام: د وایبریشن جلا کولو سیسټمونو، روټري مرحلو، ټیلټ ماډلونو، او ویفر اداره کولو پلیټ فارمونو سره مطابقت لري.
-
د کیبل مدیریت: کنټرول شوی د خمیدو وړانګې د اوږد خدمت ژوند لپاره فشار کموي.
-
بې کوره خطي موټور: د صفر کوګینګ ځواک سره نرم حرکت.
-
څو موټرو ډرایو: د بار وړونکي موټرو ځای پرځای کول مستقیموالی، فلیټوالی، او زاویه ای دقت ښه کوي.
-
د تودوخې جلا کول: موټرې د سټیج جوړښت څخه جلا شوي دي؛ د لوړ دندو دورې لپاره اختیاري هوا یا د اوبو یخولو.
مشخصاتو
| ماډل | ۴۰۰-۴۰۰ | ۵۰۰-۵۰۰ | ۶۰۰-۶۰۰ |
|---|---|---|---|
| محورونه | ایکس (سکین) / Y (ګام) | ایکس (سکین) / Y (ګام) | ایکس (سکین) / Y (ګام) |
| سفر (ملي میتر) | ۴۰۰/۴۰۰ | ۵۰۰ / ۵۰۰ | ۶۰۰/۶۰۰ |
| دقت (μm) | ±۰.۱۵ | ±۰.۲ | ±۰.۲ |
| د تکرار وړتیا (nm) | ±۷۵ | ±۱۰۰ | ±۱۰۰ |
| ریزولوشن (nm) | ۰.۳ | ۰.۳ | ۰.۳ |
| اعظمي سرعت (متر/ثانیه) | 1 | 1 | 1 |
| چټکتیا (g) | 4 | 4 | 4 |
| مستقیموالی (μm) | ±۰.۲ | ±۰.۳ | ±۰.۴ |
| ثبات (nm) | ±۵ | ±۵ | ±۵ |
| اعظمي بار (کیلوګرامه) | 20 | 20 | 20 |
| پچ/رول/یاو (قوس-ثانیه) | ±۱ | ±۱ | ±۱ |
د ازموینې شرایط:
-
د هوا رسولو: پاک، وچ؛ د شبنم نقطه ≤ 0°F؛ د ذراتو تصفیه ≤ 0.25 μm؛ یا 99.99٪ نایتروجن.
-
دقت د سټیج له مرکز څخه ۲۵ ملي متره پورته په ۲۰±۱ درجو سانتی ګراد کې اندازه شو، ۴۰-۶۰٪ RH.
غوښتنلیکونه
-
د سیمیکمډکټر لیتوګرافي، تفتیش، او د ویفر اداره کول
-
د مایکرو/نانو جوړونې او دقیق میټرولوژي
-
د لوړ کیفیت لرونکي آپټیکس تولید او انټرفیرومیټري
-
فضايي او پرمختللې علمي څېړنې
FAQ – د سیلیکون کاربایډ د هوا د بییرنګ مرحله
۱. د هوا د لیږد مرحله څه ده؟
د هوا وړونکی سټیج د سټیج او لارښود ترمنځ د فشار شوي هوا یو پتلی پرت کاروي ترڅو چمتو کړيبې رګنده، بې اغوستلو، او خورا اسانه حرکتد دودیزو میخانیکي بیرنگونو برعکس، دا د چپکولو مخه نیسي، د نانومیټر کچې دقت وړاندې کوي، او د اوږدې مودې اعتبار ملاتړ کوي.
۲. ولې د سټیج جوړښت لپاره سیلیکون کاربایډ (SiC) وکاروئ؟
-
لوړ سختوالی: د المونیم الیاژ ~5×، د متحرک حرکت په جریان کې د خرابوالي کمول.
-
ټیټ حرارتي انتشار: د المونیم څخه ~5× ټیټ، د تودوخې بدلونونو لاندې دقت ساتل.
-
سپک وزن: د فولادو په پرتله ټیټ کثافت، د لوړ سرعت او لوړ سرعت عملیات فعالوي.
-
غوره ثبات: د خورا دقیق موقعیت لپاره غوره نمی او سختی.
۳. آیا سټیج غوړولو یا ساتنې ته اړتیا لري؟
هیڅ دودیز غوړولو ته اړتیا نشته ځکه چې شتون لريهیڅ میخانیکي اړیکه نشتهسپارښتنه شوې ساتنه کې شامل دي:
-
اکمال کولپاک، وچ فشار شوی هوا یا نایتروجن
-
د فلټرونو او وچونکو دوره ای معاینه
-
د کیبلونو او یخولو سیسټمونو څارنه
۴. د هوا رسولو اړتیاوې څه دي؟
-
د شبنم نقطه: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
-
د ذراتو تصفیه: ≤ 0.25 μm
-
پاکه، وچه هوا یا ۹۹.۹۹٪ خالص نایتروجن
-
د لږترلږه بدلون سره مستحکم فشار
زموږ په اړه
XKH د ځانګړو آپټیکل شیشې او نوي کرسټال موادو په لوړ ټیکنالوژۍ پراختیا، تولید او پلور کې تخصص لري. زموږ محصولات آپټیکل الیکترونیکونه، مصرف کونکي الیکترونیکونه او اردو ته خدمت کوي. موږ د سیفایر آپټیکل اجزا، د ګرځنده تلیفون لینز پوښونه، سیرامیکونه، LT، سیلیکون کاربایډ SIC، کوارټز، او سیمیکمډکټر کرسټال ویفرونه وړاندې کوو. د ماهر تخصص او عصري تجهیزاتو سره، موږ د غیر معیاري محصول پروسس کولو کې غوره یو، چې موخه یې د لوړ ټیکنالوژۍ مخکښ آپټو الیکترونیک موادو تصدۍ وي.
