د نیلم SiC Si لپاره د آیون بیم پالش کولو ماشین
تفصيلي ډياګرام
د آیون بیم پالش کولو ماشین محصول عمومي کتنه
د ایون بیم د شکل ورکولو او پالش کولو ماشین د ایون سپټرینګ په اصل ولاړ دی. د لوړ ویکیوم چیمبر دننه، د ایون سرچینه پلازما تولیدوي، کوم چې د لوړ انرژي ایون بیم ته ګړندی کیږي. دا بیم د نظري برخې سطح بمباري کوي، په اټومي پیمانه مواد لرې کوي ترڅو د سطحې الټرا دقیق سمون او پای ته رسیدو ترلاسه کړي.
د غیر تماس پروسې په توګه، د ایون بیم پالش کول میخانیکي فشار له منځه وړي او د ځمکې لاندې زیان څخه مخنیوی کوي، دا د ستورپوهنې، فضا، سیمیکمډکټرونو، او پرمختللي څیړنیزو غوښتنلیکونو کې کارول شوي لوړ دقیق آپټیکس جوړولو لپاره مثالی کوي.
د ایون بیم پالش کولو ماشین کاري اصول
د ایون نسل
غیر فعال ګاز (د مثال په توګه، ارګون) د ویکیوم چیمبر ته داخلیږي او د بریښنایی خارجیدو له لارې ایونیز کیږي ترڅو پلازما جوړ کړي.
چټکتیا او د بیم جوړښت
ایونونه څو سوه یا زره الکترون ولټو (eV) ته ګړندي کیږي او په یو مستحکم، متمرکز بیم ځای کې شکل لري.
د موادو لرې کول
د ایون بیم په فزیکي توګه د کیمیاوي تعاملاتو پیل کولو پرته اتومونه له سطحې څخه خپروي.
د تېروتنې کشف او د لارې پلان جوړونه
د سطحې شکل انحرافات د انټرفیرومیټري سره اندازه کیږي. د لرې کولو دندې د استوګنې وختونو ټاکلو او د غوره شوي وسیلې لارې رامینځته کولو لپاره پلي کیږي.
تړل شوی-لوپ سمون
د پروسس او اندازه کولو تکراري دورې تر هغه وخته پورې دوام کوي تر څو چې د RMS/PV دقیق هدفونه ترلاسه نشي.
د ایون بیم پالش کولو ماشین کلیدي ځانګړتیاوې
د نړیوال سطحې مطابقت- فلیټ، کروی، اسفیریکل، او آزاد شکل سطحې پروسس کوي
د لرې کولو خورا مستحکم کچه- د فرعي نانومیټر شکل اصلاح فعالوي
له زیان څخه پاک پروسس کول- د ځمکې لاندې نیمګړتیاوې یا ساختماني بدلونونه نشته
دوامداره فعالیت- د مختلف سختۍ موادو باندې په مساوي ډول ښه کار کوي
د ټیټ/منځنۍ فریکونسۍ سمون- د منځنۍ/لوړې فریکونسۍ اثارو د تولید پرته غلطۍ له منځه وړي
د ساتنې ټیټ اړتیا- د لږترلږه ځنډ سره اوږد دوامداره عملیات
د ایون بیم پالش کولو ماشین اصلي تخنیکي مشخصات
| توکي | د ځانګړتیاوو |
| د پروسس کولو طریقه | په لوړ خلا چاپیریال کې د ایون توییدل |
| د پروسس ډول | د غیر تماس سطحې اندازه کول او پالش کول |
| د کار ټوټې اعظمي اندازه | Φ۴۰۰۰ ملي متره |
| د حرکت محورونه | ۳ محورونه / ۵ محورونه |
| د لرې کولو ثبات | ≥۹۵٪ |
| د سطحې دقت | PV < 10 nm؛ RMS ≤ 0.5 nm (معمولي RMS < 1 nm؛ PV < 15 nm) |
| د فریکونسي سمون وړتیا | د منځنۍ/لوړې فریکونسۍ غلطۍ معرفي کولو پرته د ټیټې-منځنۍ فریکونسۍ غلطۍ لرې کوي |
| دوامداره عملیات | د ویکیوم ساتنې پرته ۳-۵ اونۍ |
| د ساتنې لګښت | ټیټ |
د ایون بیم پالش کولو ماشین د پروسس کولو وړتیاوې
د ملاتړ شوي سطحې ډولونه
ساده: فلیټ، کروی، پرزم
پیچلي: متناسب/غیر متناسب اسفېر، د محور څخه بهر اسفېر، سلنډر
ځانګړی: ډیر نری آپټیکس، سلیټ آپټیکس، نیمه کره آپټیکس، کانفارمل آپټیکس، فیز پلیټونه، آزاد شکل سطحې
ملاتړ شوي توکي
اپټیکل شیشه: کوارټز، مایکرو کریسټالین، K9، او داسې نور.
انفراریډ مواد: سیلیکون، جرمینیم، او نور.
فلزات: المونیم، سټینلیس سټیل، ټایټانیوم الیاژ، او نور.
کرسټالونه: YAG، واحد کرسټال سیلیکون کاربایډ، او داسې نور.
سخت/ماتېدونکې مواد: سیلیکون کاربایډ، او داسې نور.
د سطحې کیفیت / دقت
PV < 10 nm
د RMS ≤ 0.5 nm
د ایون بیم پالش کولو ماشین د قضیې مطالعې پروسس کول
قضیه ۱ - معیاري فلیټ هنداره
د کار ټوټه: D630 ملي متره کوارټز فلیټ
پایله: PV 46.4 nm؛ RMS 4.63 nm
دوهمه قضیه - د ایکس رې انعکاسي هنداره
د کار ټوټه: ۱۵۰ × ۳۰ ملي متره سیلیکون فلیټ
پایله: PV 8.3 nm؛ RMS 0.379 nm؛ سلوپ 0.13 µrad
قضیه 3 - د محور څخه بهر هنداره
د کار ټوټه: د D326 ملي میتر د محور څخه بهر ځمکنۍ هنداره
پایله: PV 35.9 nm؛ RMS 3.9 nm
د کوارټز شیشې په اړه پوښتنې او ځوابونه
FAQ – د ایون بیم پالش کولو ماشین
پوښتنه ۱: د ایون بیم پالش کول څه شی دی؟
الف ۱:د ایون بیم پالش کول یوه غیر تماس پروسه ده چې د ایونونو متمرکز بیم (لکه ارګون ایونونه) کاروي ترڅو د ورک پیس سطحې څخه مواد لرې کړي. ایونونه ګړندي کیږي او د سطحې په لور لارښوونه کیږي، چې د اټومي کچې موادو لرې کولو لامل کیږي، چې په پایله کې خورا اسانه پای ته رسیږي. دا پروسه میخانیکي فشار او د ځمکې لاندې زیان له منځه وړي، دا د دقیق نظري اجزاو لپاره مثالی کوي.
دوهمه پوښتنه: د ایون بیم پالش کولو ماشین کوم ډول سطحې پروسس کولی شي؟
A2:دد ایون بیم پالش کولو ماشینکولی شي مختلف سطحې پروسس کړي، په شمول د ساده نظري اجزاو لکهفلیټونه، کروي، او منشورونه، او همدارنګه پیچلي جیومیټري لکهاسفېرونه، د محور څخه بهر اسفېرونه، اوآزاد شکل سطحېدا په ځانګړي ډول د نظري شیشې، انفراریډ آپټیکس، فلزاتو، او سختو/ماتوونکو موادو په څیر موادو باندې اغیزمن دی.
دریمه پوښتنه: د ایون بیم پالش کولو ماشین له کومو موادو سره کار کولی شي؟
A3:دد ایون بیم پالش کولو ماشینکولی شي د موادو پراخه لړۍ پالش کړي، په شمول د:
-
اپټیکل شیشه: کوارټز، مایکرو کریسټالین، K9، او داسې نور.
-
انفراریډ مواد: سیلیکون، جرمانیوم، او داسې نور.
-
فلزات: المونیم، سټینلیس سټیل، ټایټانیوم الیاژ، او نور.
-
کرسټال مواد: YAG، واحد کرسټال سیلیکون کاربایډ، او داسې نور.
-
نور سخت/ماتېدونکې مواد: سیلیکون کاربایډ، او داسې نور.
زموږ په اړه
XKH د ځانګړو آپټیکل شیشې او نوي کرسټال موادو په لوړ ټیکنالوژۍ پراختیا، تولید او پلور کې تخصص لري. زموږ محصولات آپټیکل الیکترونیکونه، مصرف کونکي الیکترونیکونه او اردو ته خدمت کوي. موږ د سیفایر آپټیکل اجزا، د ګرځنده تلیفون لینز پوښونه، سیرامیکونه، LT، سیلیکون کاربایډ SIC، کوارټز، او سیمیکمډکټر کرسټال ویفرونه وړاندې کوو. د ماهر تخصص او عصري تجهیزاتو سره، موږ د غیر معیاري محصول پروسس کولو کې غوره یو، چې موخه یې د لوړ ټیکنالوژۍ مخکښ آپټو الیکترونیک موادو تصدۍ وي.
