د 4H-N/6H-N SiC ویفر د څیړنې تولید د ډمي درجې Dia150mm سیلیکون کاربایډ سبسټریټ
د ۶ انچه قطر سیلیکون کاربایډ (SiC) سبسټریټ مشخصات
درجه | صفر MPD | تولید | د څېړنې درجه | ډمي درجه |
قطر | ۱۵۰.۰ ملي متره ± ۰.۲۵ ملي متره | |||
ضخامت | ۴H-ن | ۳۵۰ ګرامه ± ۲۵ ګرامه | ||
د 4H-SI | ۵۰۰من ± ۲۵من | |||
د ویفر سمت | په محور باندې: <0001>±0.5° د 4H-SI لپاره | |||
لومړنی فلیټ | {۱۰-۱۰} ±۵.۰ درجې | |||
د لومړني فلیټ اوږدوالی | ۴۷.۵ ملي متره ± ۲.۵ ملي متره | |||
د څنډې استثنا | ۳ ملي متره | |||
ټي ټي وي/بو/وارپ | ≤۱۵من/≤۴۰من/≤۶۰من | |||
د مایکرو پایپ کثافت | ≤۱ سانتي متره-۲ | ≤5 سانتي متره-2 | ≤۱۵ سانتي متره-۲ | ≤۵۰ سانتي متره-۲ |
مقاومت 4H-N 4H-SI | ۰.۰۱۵~۰.۰۲۸Ω! سانتي متره | |||
≥1E5Ω! سانتي متره | ||||
ناهمواروالی | پولنډي را ≤1nm CMP را ≤0.5nm | |||
#د لوړ شدت رڼا له امله درزونه | هیڅ نه | ۱ اجازه ورکړل شوې، ≤۲ ملي میتره | مجموعي اوږدوالی ≤10mm، واحد اوږدوالی ≤2mm | |
* د لوړ شدت رڼا په واسطه هیکس پلیټونه | مجموعي ساحه ≤1% | مجموعي ساحه ≤ 2% | مجموعي ساحه ≤ 5% | |
* د لوړ شدت رڼا په واسطه د پولیټایپ ساحې | هیڅ نه | مجموعي ساحه ≤ 2% | مجموعي ساحه ≤ 5% | |
* او د لوړ شدت رڼا لخوا سکریچونه | د ویفر قطر تر ۱ x پورې مجموعي اوږدوالی پورې ۳ سکریچونه | د ویفر قطر تر ۱ x پورې مجموعي اوږدوالی پورې ۵ سکریچونه | له ۵ سکریچونو څخه تر ۱ x ویفر قطر پورې مجموعي اوږدوالی | |
د څنډې چپ | هیڅ نه | ۳ اجازه ورکړل شوې، هر یو یې ≤۰.۵ ملي متره | ۵ اجازه ورکړل شوې، هر یو یې ۱ ملي متره | |
د لوړ شدت لرونکي رڼا له امله ککړتیا | هیڅ نه
|
خرڅلاو او پیرودونکي خدمت
د موادو پیرود
د موادو د پیرودلو څانګه مسؤلیت لري چې ستاسو د محصول تولید لپاره اړین ټول خام مواد راټول کړي. د ټولو محصولاتو او موادو بشپړ تعقیب وړتیا، په شمول د کیمیاوي او فزیکي تحلیل، تل شتون لري.
کیفیت
ستاسو د محصولاتو د تولید یا ماشین کولو په جریان کې او وروسته، د کیفیت کنټرول څانګه د دې ډاډ ترلاسه کولو کې دخیل ده چې ټول توکي او زغم ستاسو مشخصات پوره کوي یا یې ډیروي.
خدمت
موږ په دې ویاړو چې د پلور انجینرۍ کارمندان لرو چې د سیمیکمډکټر صنعت کې له پنځو کلونو څخه ډیر تجربه لري. دوی د تخنیکي پوښتنو ځوابولو او ستاسو د اړتیاو لپاره په وخت نرخونو چمتو کولو لپاره روزل شوي دي.
موږ ستاسو په څنګ کې یو هر وخت کله چې تاسو ستونزه لرئ، او په لسو ساعتونو کې یې حل کوو.
تفصيلي ډياګرام

