4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch تولید د ډمي درجې Dia150mm سیلیکون کاربایډ سبسټریټ

لنډ معلومات:

موږ کولی شو د لوړې تودوخې سوپر کنډکټینګ پتلي فلم سبسټریټ ، مقناطیسي پتلي فلمونه او فیرو الیکټریک پتلي فلم سبسټریټ ، سیمیکمډکټر کرسټال ، آپټیکل کرسټال ، لیزر کرسټال توکي ، په ورته وخت کې د اورینټیشن ، کرسټال قطع کول ، پیسولو ، پالش کولو او نور پروسس خدمات چمتو کړو.زموږ د SiC سبسټریټونه په چین کې د ټانک بلیو فابریکې څخه راځي.

موږ ته بریښنالیک واستوئ

د محصول تفصیل

د محصول ټګ

د 6 انچ قطر سیلیکون کاربایډ (SiC) سبسټریټ مشخصات

درجه	صفر MPD	تولید	د څیړنې درجه	ډمي درجه
قطر	150.0mm±0.25mm
موټی	4H-N	350um±25um
	4H-SI	500um±25um
د ویفر اورینټیشن	په محور کې:<0001>±0.5° د 4H-SI لپاره محور بند: 4.0 ° په لور<1120> ± 0.5 ° د 4H-N لپاره
لومړني فلیټ	{10-10}±5.0°
د لومړني فلیټ اوږدوالی	47.5mm±2.5mm
د څنډې جلا کول	3mm
TTV/Bow/warp	≤15um/≤40um/≤60um
د مایکروپیپ کثافت	≤1cm-2	≤5cm-2	≤15cm-2	≤50cm-2
مقاومت 4H-N 4H-SI	0.015~0.028Ω! سانتي متره
	≥1E5Ω!cm
سختوالی	پولنډی Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm
# د لوړ شدت د رڼا لخوا درزونه	هیڅ نه		1 اجازه، ≤2mm	مجموعي اوږدوالی ≤10mm، واحد اوږدوالی≤2mm
* هیکس پلیټونه د لوړ شدت رڼا لخوا	مجموعي ساحه ≤1%		مجموعي ساحه ≤ 2٪	مجموعي ساحه ≤ 5%
* د لوړ شدت د رڼا لخوا د پولی ډوله سیمې	هیڅ نه		مجموعي ساحه ≤ 2٪	مجموعي ساحه ≤ 5%
* او د لوړ شدت د رڼا لخوا سکریچونه	3 سکریچونه تر 1 x ویفر قطر مجموعي اوږدوالی		5 سکریچ تر 1 x ویفر قطر مجموعي اوږدوالی	5 سکریچ تر 1 x ویفر قطر مجموعي اوږدوالی
څنډه چپنه	هیڅ نه		3 اجازه ورکړل شوې، ≤0.5mm هر یو	5 اجازه ورکړل شوې، ≤1mm هر یو
د لوړ شدت رڼا لخوا ککړتیا	هیڅ نه

د پلور او پیرودونکي خدمت

د موادو پیرود

د موادو پیرود څانګه مسؤلیت لري چې ستاسو د محصول تولید لپاره ټول اړین خام مواد راټول کړي.د کیمیاوي او فزیکي تحلیل په شمول د ټولو محصولاتو او موادو بشپړ تعقیب شتون تل شتون لري.

کیفیت

ستاسو د محصولاتو د تولید یا ماشین کولو پرمهال او وروسته، د کیفیت کنټرول څانګه د دې ډاډ ترلاسه کولو کې ښکیل دي چې ټول توکي او زغم ستاسو د ځانګړتیاوو سره سم یا ډیر وي.

خدمت

موږ د سیمی کنډکټر صنعت کې د 5 کلونو تجربو سره د پلور انجینرۍ کارمندانو په درلودلو ویاړو.دوی روزل شوي ترڅو تخنیکي پوښتنو ته ځواب ووایی او همدارنګه ستاسو د اړتیاو لپاره په وخت نرخونه چمتو کړي.

موږ هر وخت ستاسو تر څنګ یو کله چې تاسو ستونزه لرئ، او په 10 ساعتونو کې یې حل کړئ.