6 انچ 150mm سیلیکون کاربایډ SiC Wafers 4H-N ډول د MOS یا SBD تولید څیړنې او ډمي درجې لپاره
د غوښتنلیک ساحې
د 6 انچ سیلیکون کاربایډ واحد کرسټال سبسټریټ په ډیری صنعتونو کې مهم رول لوبوي. لومړی ، دا په پراخه کچه د سیمیکمډکټر صنعت کې د لوړ بریښنا بریښنایی وسیلو جوړولو لپاره کارول کیږي لکه د بریښنا لیږدونکي ، مدغم سرکیټونه ، او بریښنا ماډلونه. د دې لوړ حرارتي چالکتیا او د تودوخې لوړ مقاومت د تودوخې ښه تحلیل وړوي ، چې پایله یې د موثریت او اعتبار ښه کیږي. دوهم ، د سیلیکون کاربایډ ویفرونه د نوي توکو او وسیلو پراختیا لپاره د څیړنې برخو کې اړین دي. سربیره پردې ، د سیلیکون کاربایډ ویفر د آپټو الیکټرونیک په برخه کې پراخه غوښتنلیکونه موندلي ، پشمول د LEDs او لیزر ډایډونو تولید.
د محصول مشخصات
د 6 انچ سیلیکون کاربایډ واحد کرسټال سبسټریټ د 6 انچو قطر لري (نږدې 152.4 ملي متره). د سطحې خړپړتیا Ra <0.5 nm ده، او ضخامت یې 600 ± 25 μm دی. سبسټریټ د پیرودونکو اړتیاو پراساس د N-ډول یا P-ډول چلونکي سره تنظیم کیدی شي. سربیره پردې ، دا غیر معمولي میخانیکي ثبات ښیې ، د فشار او وایبریشن سره مقاومت کولو وړ.
| قطر | 150±2.0mm (6 انچه) | ||||
| موټی | 350 μm ± 25 μm | ||||
| اوریدنه | په محور ： <0001>±0.5° | بند محور: 4.0 ° د 1120 ± 0.5 ° په لور | |||
| پولیټیپ | 4H | ||||
| مقاومت (Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| لومړني فلیټ لوري | {10-10}±5.0° | ||||
| لومړني فلیټ اوږدوالی (mm) | 47.5 mm±2.5 mm | ||||
| څنډه | چمفر | ||||
| TTV/Bow/Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM محاذ (سي-مخ) | پولنډي Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.5 nm | |||||
| LTV | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| د نارنجي پوټکي/خنډونه/درېزونه/کثافات/داغونه/داغونه | هیڅ نه | هیڅ نه | هیڅ نه | ||
| شاخصونه | هیڅ نه | هیڅ نه | هیڅ نه | ||
د 6 انچ سیلیکون کاربایډ واحد کرسټال سبسټریټ د لوړ فعالیت مواد دی چې په پراخه کچه د سیمیکمډکټر ، څیړنې او آپټو الیکترونیک صنعتونو کې کارول کیږي. دا غوره حرارتي چالکتیا، میخانیکي ثبات، او د تودوخې لوړ مقاومت وړاندې کوي، دا د لوړ بریښنا بریښنایی وسایلو جوړولو او نوي موادو څیړنې لپاره مناسب کوي. موږ د پیرودونکو مختلف غوښتنو پوره کولو لپاره مختلف مشخصات او دودیز کولو اختیارونه چمتو کوو.د سیلیکون کاربایډ ویفرونو په اړه د نورو معلوماتو لپاره موږ سره اړیکه ونیسئ!
تفصيلي ډياګرام
