د MOS یا SBD تولید څیړنې او ډمي درجې لپاره 6 انچه 150 ملي میتر سیلیکون کاربایډ SiC ویفرونه 4H-N ډول
د غوښتنلیک ساحې
د ۶ انچه سیلیکون کاربایډ واحد کرسټال سبسټریټ په ډیری صنعتونو کې مهم رول لوبوي. لومړی، دا په پراخه کچه د سیمیکمډکټر صنعت کې د لوړ ځواک لرونکي بریښنایی وسیلو لکه بریښنا ټرانزیسټرونو، مدغم سرکټونو، او بریښنا ماډلونو جوړولو لپاره کارول کیږي. د دې لوړ حرارتي چالکتیا او د لوړې تودوخې مقاومت د تودوخې ښه تحلیل فعالوي، چې پایله یې د ښه موثریت او اعتبار لامل کیږي. دوهم، د سیلیکون کاربایډ ویفرونه د نوي موادو او وسایلو پراختیا لپاره د څیړنې په برخو کې اړین دي. سربیره پردې، د سیلیکون کاربایډ ویفر د آپټو الیکترونیک په برخه کې پراخه غوښتنلیکونه موندلي، پشمول د LEDs او لیزر ډایډونو تولید.
د محصول مشخصات
د ۶ انچه سیلیکون کاربایډ واحد کرسټال سبسټریټ قطر ۶ انچه (تقریبا ۱۵۲.۴ ملي میتر) لري. د سطحې ناهموارۍ د Ra < ۰.۵ nm ده، او ضخامت یې ۶۰۰ ± ۲۵ μm دی. سبسټریټ د پیرودونکو اړتیاو پراساس د N-ډول یا P-ډول چالکتیا سره تنظیم کیدی شي. سربیره پردې، دا استثنایی میخانیکي ثبات ښیې، د فشار او وایبریشن سره مقاومت کولو توان لري.
قطر | ۱۵۰±۲.۰ ملي متره (۶ انچه) | ||||
ضخامت | ۳۵۰ مایکرو متره ± ۲۵ مایکرو متره | ||||
لارښوونه | په محور باندې: <0001>±0.5° | له محور څخه بهر: ۴.۰ درجې د ۱۱۲۰ ± ۰.۵ درجو په لور | |||
پولی ټایپ | 4H | ||||
مقاومت (Ω·cm) | ۴H-ن | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
د 4/6H-SI لپاره | >۱E۵ | ||||
لومړني فلیټ سمت | {۱۰-۱۰} ±۵.۰ درجې | ||||
د لومړني فلیټ اوږدوالی (ملي میتر) | ۴۷.۵ ملي متره ± ۲.۵ ملي متره | ||||
څنډه | چمفر | ||||
ټي ټي وي/بو/وارپ (ام) | ≤۱۵ /≤۴۰ /≤۶۰ | ||||
د AFM مخکینۍ برخه (سای-مخ) | پولنډي Ra≤1 nm | ||||
د CMP Ra≤0.5 nm | |||||
د LTV | ≤3μm(10 ملي متره*10 ملي متره) | ≤5μm(10 ملي متره*10 ملي متره) | ≤۱۰μm(۱۰ ملي متره*۱۰ ملي متره) | ||
ټي ټي وي | ≤5μm | ≤۱۰μm | ≤۱۵μm | ||
د نارنج پوستکی/څاڅکي/درزونه/ککړتیا/داغونه/داغونه | هیڅ نه | هیڅ نه | هیڅ نه | ||
انډینټونه | هیڅ نه | هیڅ نه | هیڅ نه |
د ۶ انچه سیلیکون کاربایډ واحد کرسټال سبسټریټ یو لوړ فعالیت لرونکی مواد دی چې په پراخه کچه په سیمیکمډکټر، څیړنې، او آپټو الیکترونیک صنعتونو کې کارول کیږي. دا غوره حرارتي چالکتیا، میخانیکي ثبات، او د لوړې تودوخې مقاومت وړاندې کوي، چې دا د لوړ ځواک بریښنایی وسیلو جوړولو او نوي موادو څیړنې لپاره مناسب کوي. موږ د پیرودونکو د مختلفو غوښتنو پوره کولو لپاره مختلف مشخصات او دودیز کولو اختیارونه چمتو کوو.د سیلیکون کاربایډ ویفرونو په اړه د نورو جزیاتو لپاره موږ سره اړیکه ونیسئ!
تفصيلي ډياګرام

